基本概念:曝光机是20世纪60年代初从扫描电子显微镜基础上发展起来,70年代以后广泛应用于半导体集成电路制造业
工作原理:在计算机的控制下,利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光,受电子束辐照后的光刻胶,其物理化学性质发生变化,在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域,铭牌曝光显影,从而在抗蚀剂上形成精细图形。应用范围:用于半导体制造,光电电子,平板,铭牌曝光显影厂家,射频微波,衍射光学,微机电系统,凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制和精度对准的技术要求。
利成工艺流程-显影
在经过显影后利成的质检员会对产品进行检测,把显影不到位的或图案不良的产品挑选出来,良品就会进入下一道工序封油。
曝光显影直接决定蚀刻图案的准确性,因此在菲林的制作上,需要非常准确和清晰。操作人员要规范作业,避免图案模糊或者移位影响产品品质。
将金属或合金的制件作为阳极,采用电解的方法使其表面形成氧化物薄膜。金属氧化物薄膜改变了表面状态和性能,如表面着色,提高耐腐蚀性、增强耐磨性及硬度,保护金属表面等。例如铝阳极氧化,将铝及其合金置于相应电解液(如硫酸、铬酸、草酸等)中作为阳极,在特定条件和外加电流作用下,进行电解。阳极的铝或其合金氧化,表面上形成氧化铝薄层,其厚度为5~30微米,硬质阳极氧化膜可达25~150微米。
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