r-14制冷剂，别名r14、氟利昂14、pfc-14，商品名称有freon14等，中文名称四氟化碳、全氟化碳，英文名称carbon tetrafluoride ortetrafluoromethane，分子式cf4。r-14属于fc类物质——对臭氧层没有破坏、但存在温室效应；目前对于r14制冷剂的生产、销售以及在新制冷设备上的初装、售后设备上的再添加均没有限制。
冷媒名称 | r-14 | 冷媒名称 | r-14 |
沸点（1atm），℃ | -128.1 | 破坏臭氧潜能值（odp） | 0 |
饱和蒸气压（-150.7℃），kpa | 13.33 | 全球变暖潜能值(gwp，100 yr) | 5700 |
临界温度，℃ | -45.6 | 燃烧 | 不可燃 |
临界压力，mpa | 3.75 | ashrae安全级别 | a1（无毒不可燃） |
主要应用 | |||
r14主要用于超低温（深冷）复叠式制冷设备中，r14也是低温配合冷媒的重要组分；四氟化碳（别名：四氟甲烷，全氟甲烷、氟碳14、carbon tetrafluoride、tetrafluoromethane、halocarbon 14、cf4、pfc-14）是目前微电子工业中用量大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合气，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、泄漏检验剂、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。 | |||
包装规格 | |||
钢瓶包装，8kg/瓶，32kg/瓶。 | |||
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