太阳能硅片超声波清洗机
- 供应商
- 济宁奥超电子设备有限公司
- 认证
- 报价
- ¥5800.00元每
- 品牌
- 奥超
- 适用领域
- JA-300
- 产地
- 山东济宁
- 联系电话
- 0537-2896499
- 手机号
- 13153761899
- 联系人
- 刘建国
- 所在地
- 山东济宁高新区金宇路37号
- 更新时间
- 2024-01-01 10:19
硅片晶圆生产清洗工艺中,使用超声波清洗机有效去除硅片晶圆表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英、塑料等附件器皿的污染物,且不破坏晶片表面特性。根据不同清洗工艺配置相应的清洗单元,各部分有独立控制,随意组合
1、炉前清洗:扩散前清洗。
2、光刻后清洗:除去光刻胶。
3、氧化前自动清洗:氧化前去掉硅片表面所有的沾污物。
4、抛光后自动清洗:除去切、磨、抛的沾污。
5、外延前清洗:除去埋层扩散后的sio2及表面污物。
6、合金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后,表面杂质及光胶残渣。
7、离子注入后的清洗:除去光刻胶,sio2层。
8、扩散预淀积后清洗:除去预淀积时的bsg和psg。
9、cvd后清洗:除去cvd过程中的颗粒。
10、附件及工具的清洗:除去表面所有的沾污物
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