P-821-A9系列玻璃浮子流量计

供应商
东精计装(漳州)仪器仪表有限公司
认证
品牌
TOKYOKEISO东京计装
型号
P-821
类型
面积式流量计
联系电话
86 596 2672901
联系人
陈辉
所在地
中国 福建 漳州市 金峰开发区北斗福星工业厂房14号

详细介绍

品牌tokyo keiso 东京计装型号p-821
类型面积式流量计测量范围16.667~166.67(m3/h)
精度等级±5%(f.s.)适用介质气体(空气)
工作压力0.8(mpa)工作温度80(℃)

概要

适于半导体生产过程中各种气体的测量。

体型小,广泛应用于半导体生产装置的中心设备。

标准规格

测量对象: 气体(空气)

测量范围: 参照下表

有効刻度范围: 10比1(部分10比2)

流量指示精度:±5%(f.s.)

大使用压力:0.8mpa*

高使用温度: 80°c

标准材料: 参照下表

标准材料

部品名

标准材料

本体

scs14

锥形管

耐热玻璃

浮子

sus316,玻璃,红宝石

垫圈

氟橡胶

阀门轴

sus316

阀门配件

sus316

阀门

sus316

侧板

spcc

挡板

丙烯树脂

p-821系列标准产品规格表

产品编号

流体规格

制作条件

流体

流量范围

流量单位

阀门位置

规格

p-821-a9

air

1~10

l/min(nor)

1atm、20℃

*标准现货测试压力为0.7mpa

展开全文

我们其他产品
咨询 在线询价 拨打电话