20KW中频偏压电源 真空镀膜磁控溅射电源 非对称双极脉冲直流电源

磁控溅射电源适用于真空磁控溅射，可以根据真空设备与溅射要求设定电流、电压阈值，工作频率，输出极性，工作模式；本电源能实现交直流切换输出；稳流、稳压多种模式切换；具有直流+非对称双极脉冲直流、双脉冲、中频偏压四种模式；输出波形可以设置实现正弦，脉冲方波，三角波，梯形波等多种波形。