四路质子混气管式PECVD 金属镀膜PECVD
- 供应商
- 南阳市鑫宇新材料科技有限公司
- 认证
- 报价
- ￥100000.00元每台
- xinkyo
- 尺寸：φ40*205
- PECVD
- 控温精度：±1℃
- 南阳
- 控温方式：宇电智能温控仪
- 手机号
- 18403775787
- 销售经理
- 樊女士
- 所在地
- 卧龙区龙升工业园1#路
- 更新时间
- 2024-06-13 11:07
四路质子混气管式pecvd
混气管式pecvd系统是为了使化学反应能在较低的温度下进行，利用了等离子体的活性来促进反应，环境温度在100-300℃，但反应气体在辉光放电等离子体中能受激分解、离解和离化，从而大大提高了反应物的活性，这些具有反应活性的中性物质很容易被吸附到较次温度的基本表面上，发生非平衡的化学反应沉积生成薄膜，因此这种cvd称为等离子体增强化学气相沉积法（pecvd）。
设备可在片状或类似形状样品表面沉积siox、sinx、非晶硅、微晶硅、纳米硅、sic、类金刚石等多种薄膜，并可沉积p型、n型掺杂薄膜。沉积的薄膜具有良好的均匀性、致密性、粘附性、绝缘性。广泛应用于刀具、高精模具、硬质涂层、高端装饰等领域。
管式炉系统 | |
炉管尺寸 | 直径60mm |
加热区长度 | 205mm、350mm、440mm(更多规格可按照客户要求定制) |
正常工作温度 | 1100℃ |
工作温度 | 1200℃ |
加热元件 | 掺钼合金加热丝 |
炉膛材质 | 采用日本进口炉膛材料，不掉粉、材料保温性能好、反射率高、温场均衡，抗热涨冷缩能力强 |
控温方式 | 智能化30段可编程控制（用户可选配液晶触摸屏显示） |
真空系统 | |
高真空分子泵组，高真空复合真空计 前级泵2升每秒，分子泵600升每秒 采用kf25系列波纹管和真空挡板阀连接 | |
质子流量计 | |
高精度质量流量计可准确的控制气体流量 气体流量范围为0-500SCCm 误差为0.02% 出气真空压力表，内置气体混气系统， 不锈钢针阀计管道，标准双卡套接头 | |
射频电源系统 | |
输出功率 | 50-500w可调±1% |
rf频率 | 13.56mhz，稳定性±0.005% |
噪声 | ≤55db |
冷却 | 风冷 |
输入功率 | 1kw ac 220v |
提供相关配件 | 气炼石英炉管、真空法兰、高温手套、坩埚钩、热电偶、防烫罩、刚玉坩埚、炉塞 |
电气认证 | ce认证 |
售后服务 | 12个月质保、终身保修 |