| 型号 | x62 1355b-1型抛光机 | 品牌 | 风雷 |
| 电源电压 | 380v | 抛光轮直径 | φ1380（mm） |
| 重量 | 约7000（kg） | 适用范围 | 石英晶片、宝石片、玻璃、陶瓷片及其它硬脆材料 |
产品用途：
本机主要适用于6英寸以下硅片双面精密抛光加工，同时用于石英晶片、宝石片、玻璃、陶瓷片及其它硬脆材料的双面抛光加工。
主要特点：
1.变频器配合异步电机拖动，实现了软启动，软停止，调速稳定，冲击小。
2.采用三电机同步拖动，变速范围更广，能适应不同抛光材料及抛光工艺的要求。
3.太阳轮与内齿圈同步抬升，满足了取放工件及调整游轮啮合位置的要求。
4.上、下抛光盘采用斜齿轮传动，运转平稳。
5.采用plc控制，压力采用电—气比例阀与拉力传感器实现了闭环反馈控制，压力过程实现了线形转换。
6.应用人机界面（pt）显示与plc控制，一方面显示运行参数，另一方面通过其触摸键调整设定各项工艺参数，主操作由普通键钮完成。
7.采用集中润滑装置，各相对运动表面、齿轮啮合部位、链轮都可得到充分润滑，大大提高了整机的使用寿命。
8.上盘采用新的“浮动”连接装置，解决了错盘问题。
主要技术参数：
1．抛光盘尺寸：φ1380mm×φ433mm×50mm
2．游轮参数：z=170m=3
3．游轮数量：5片
4．大抛光直径：φ410mm
5．小抛光厚度：0.50mm
6．大抛光厚度：30mm
7．下抛光盘转速：0-60rpm
8．主电机：18.5kw380v1450rpm
9．太阳轮电机：2.2kw380v1440rpm
10．内齿圈电机：5.5kw380v1440rpm
11.气源：0.5~0.6mpa
12．外形尺寸（长×宽×高）：2650mm×1920mm×2770mm
13．质量：约7000kg
主机精度：
1.下抛光盘端跳：0.08mm
2.上下抛光盘平面度：0.02mm
3.太阳轮径向跳动：0.10mm
4.齿圈径向跳动：0.18mm
加工精度（四个修正轮修研后）：
1.一致性：0.008 mm
2.平面度：0.004 mm
3.平行度：0.006 mm
加工能力：
1.单片承片量：6片/φ150mm8片/φ125mm
2.整盘承片量：30片/φ150mm40片/φ125mm
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