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电子级氟硼酸质量指标

目前，因各微电子生产企业对电子级氟硼酸要求的标准不同，可将其划分为四个档次：①低档产品，用于>1.2μmic工艺技术的制作；②中低档产品，适用于0.8～1.2μmic工艺技术的制作；③产品，河北氟硼酸50%，适用于0.2～0.6μmic工艺技术的制作；④产品，适用于0.09～0.2μm和＜0.09μmic工艺技术的制作。

产品包装方法：采用高密度聚乙烯专用密封工艺制造塑料桶25公斤桶装。

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对水质要求高，要求水的电阻率≥18.0mΩ·cm。

高纯水是生产电子氟硼酸中不可缺少的原料，也是包装容器的清洗剂，其纯度将直接影响到电子级氟硼酸的产品质量。高纯水的主要控制指标是电阻率和固体颗粒，其他辅助指标有可氧化的总碳量(toc)、细菌、被溶解的二氧化硅、离子浓度等。

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无色液体。熔点-90℃。沸点130℃。能和水或醇相混溶。氟硼酸用于金属表面氧化物、硅酸盐膜的清洁和腐蚀剂，铝和合金电镀前的清洗。铅锡电镀时作导电液，也用作触媒、金属表面活性剂。

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