日本日立HITACHI，高解析度FEB测量装置CS4800

供应日本日立hitachi高解析度feb测量装置cs4800（cd-sem）  的详细介绍

考虑了更换现有设备或共同使用情况下的设备占地面积和gui*1

通过设备的研发经验，搭载了高精度测量技术和*新的计量应用。

通过光学轴自动化调整，减少了由于操作员熟练度而造成的测量偏差。

更高的图像处理技术，实现recipe自动测量并提高产能。

新的晶圆搬送系统兼容4,6,8英寸多尺寸晶圆。

*1

gui (graphic user interface):使用计算机的图形显示器和鼠标等指示设备的软件操作系统。