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无尘室内该如何防止微粒子污染呢？

无尘室内该如何防止微粒子污染呢？应遵守下列四项基本原则：

1.不携入 在无尘室内不携入微粒子的方法有：

    1）作业员进入无尘室前，机台、零件携入前应进行清洁处理；

   2）进入无尘室者在更衣室要穿着不发尘、不产生静电的具特殊导电性纤维材质的无尘服、帽、鞋、手套、口罩等。  

    3）通过风淋室时利用高速干净空气除去附在衣服表面的粒子后，才能进入无尘室。

 4）机器及材料带进无尘室前，应尽可能在密封状态下带进无尘室前室保养后用超纯水擦拭，经风淋室吹淋后才进入无尘室。

  5）无尘室中须全程穿戴密闭式安全帽及佩戴附有filter的排气用小型fan于腰间。 　　

2.不发生在控制污染源--人在无尘室内的微粒子发尘量的同时，也应控制第二大污染源—制造机台的发尘量。因物品在移动时，所产生的摩擦及接触剥离会造成发尘，而物品在移动时也会有微粒子的发生。故为了控制发尘量达到极小限度应采取以下对策：

1）减少接触剥离发尘的动作形态；

2）采用磨耗发尘小的材质；

3）采用发尘小的润滑油；

4）机台应用空压浮上的非接触化工作原理。 　　

3.不储备若能彻底实施“不携入”技术，无尘室内的洁净度就可以维持。无尘室内的浮游微粒子浓度，使用高性能的过滤器即可容易达到零水平，实际的生产现场由于作业者、机器、周边机械的发尘及基板运送时所接触的零件材料的发尘等，在制造品周边扬起了少许的微粒子，因而造成了元件清洁面的粒子污染。

4.洁要求　

（1）、清洁洁净室内的墙时应使用洁净室无尘布；

（2）、用90％去离子水和10％的异丙醇配置清洁剂； 　

（3）、使用已获批准的洁净室专用去污剂； 　　

（4）、每天都要检查车间和整备间的垃圾箱，并及时清走。 　

（5）、每块地板都要吸尘。每次交接班时，都应在地图上标明工作完成情况，例如在哪结束从哪开始。

（6）、清洁洁净室的地面应使用专用拖把。 　　

（7）、在洁净室里吸尘应使用带有高效过滤器的专用真空吸尘器。 　　

（8）、所有的门都需要检查并擦干 　

（9）、吸完地以后再擦地。一周擦一次墙面。

（10）、架空地板下也要吸尘及擦拭。 　　

(11)、三个月擦一次架空地板底下的柱子和支撑柱。 　

（12）、工作时一定要记住，永远是由上往下擦，从离门远的地方向门的方向擦。

 无尘车间也叫洁净厂房、洁净室(cleanroom）、无尘室，是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，光学无尘车间，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。

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