供应FitTech裸晶测试仪

供应fittech裸晶测试仪

型号：apt 6000

设备名称：整合型led晶粒/晶圆点测机 裸晶测试仪

型号：apt 6000

 标准配备

1. 机构部分：

x、y、z、θ轴(精度详见规格)

chuck table（非导电盘&导电盘，共2块）

xyz 调整座 2  座

edge sensor 2 座

彩色ccd 1组，1倍镜头，供扫描定位用、供探针定位、外观检视用

掀开式遮光罩

电控箱

分光卡：350nm-1050nm

 

选配部分：

清针模块 (毛刷 & 贴片& 吹气)

è 毛刷及贴片为耗材，依客户的使用状况决定更换次数

esd 模块：hbm/mm ±4 kv

è relay寿命保证：6个月或2亿次(以先到为主)

 

 

2. 测试机部份

电源供应器：sf

tester基本架构图如下：apt6000

 

 

3. ipc 部分

中央处理器：双核心 cpu g34203.2 ghz

存储器：4g

硬盘：500g

17”lcd或以上荧幕、光学鼠标、键盘

作业系统 : win 7

 

l 通用规范.

 

项目

描述说明

规格

工作面积

2~7.8英寸

198mm

卡盘

平面化

±0.01 mm

 

x 轴

zui大行程

200 mm

分辨率

0.5 μm

精度

< 10 μm over 100mm

y 轴

300 mm

z 轴

8 mm

1.2 μm

< 5 μm over 30 mm

θ axis

轴旋转范围

± 30°

0.0018°

< 10 μm over 160mm

 

 

机器视觉

摄像机

ccd

照明

遥控

焦距

手动调整

校准

自动校准

ccd 分辨率

1280*960 像素

透镜放大倍数

1x

屏显

6.4mm × 4.8 mm

 

l 测试规格.

l 测量表 : sf

 

 

 

l 厂务需求

 

项目

单位

规格

机器尺寸w × d × h

mm

930x900x1670

机器重量

kg

600

电源

v

110

电源电流

a

13

气压

kgf/cm²

5

空气流量

nl/min

空气管直径

ψ10

真空压力

mmhg

-660

真空流量

40

真空管直径

mm

ψ6