尾气处理设备Scrubber

供应商
陕西中浩流体科技有限公司
认证
联系电话
029-88691633
手机号
18629085882
经理
杨毅
所在地
陕西省西安市高新区唐延路十一号逸翠园二期i都会3幢1单元11644室(注册地址)
更新时间
2018-06-25 12:09

详细介绍

mocvd/pecvd/icp尾气处理设备scrubber

种类包括:

1,燃烧水洗式;

2,吸附式;

3,电离式;

4,水洗式;

5,干式;

            

处理气体包括:sih4、nh3、ph3、b2h6、geh4、sih2cl2、teos、nf3、h2、co、sf6、c2f6、wf6、n2o、cf4等。

 

主要应用于:太阳能光伏、半导体、微电子、led、高校实验室、科研单位等行业中产生的危害性废气。

详细资料请联系供应商。


MOCVD,PECVD,ICP尾气处理设备Scrubber

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