球面标准镜头

乾曜光学提供普通精度的球面标准镜和超精密球面标准镜，有效口径有150mm（6英寸），100mm （4英寸），60mm，30mm。150mm和100mm口径镜头与zygo通用，60mm和30mm口径镜头与富士通用。

超精密球面标准镜为代理国外产品，精度达pv<λ/40（λ=632.8nm）。精度测试文件储存为zygo干涉仪的标准数据格式，在zygo干涉仪的数据中能够移除标准球面的误差，以达到测量。

选配要点：

待测球面的r/d(曲率半径与口径的比值)应当大于球面镜头的f数，才能实现全口径测量；建议选取f数接近(略小于)被测面r/d值的球面镜头。

凸面曲率半径与口径的测量范围受限于镜头标准面的曲率半径与有效通光口径；凹面的测量范围受限于测试腔的长度(也即是仪器导轨的有效移动距离)与宽度(也即是载物台的横向尺寸)。

普通精度球面标准镜技术参数:

 型号

有效口径

材料

精度 （λ=633nm）

qy-150-fxx

152.4mm(or 6 inches)

熔石英 (corning 7980)

pv<λ/10

qy-100-fxx

101.6 mm(or 4 inches)

熔石英 (corning 7980)

pv<λ/10 和 pv<λ/20

qy-60-fxx

60mm

熔石英 (corning 7980)

pv<λ/20

qy-30-fxx

30mm

熔石英 (corning 7980)

pv<λ/20

qy-25-fxx

25.4 mm(or 1 inches)

熔石英 (corning 7980)

pv<λ/20

超精密球面标准镜技术参数

 型号

有效口径

材料

精度 （λ=633nm）

qy-150-afxx

152.4mm(or 6 inches)

熔石英

pv<λ/40

qy-100-afxx

101.6 mm(or 4 inches)

熔石英

pv<λ/40