高低温真空探针台
- 供应商
- 深圳市中科超能科技有限公司
- 认证
- 报价
- ¥1.00元每1
- 品牌
- CINDBEST
- 型号
- 高低温真空探针台
- 产地
- 中国
- 手机号
- 13143683201
- 联系人
- 李树江
- 所在地
- 深圳市龙华区大浪街道横朗社区桂冠华庭紫荆苑1号1201(注册地址)
- 更新时间
- 2019-09-24 10:46
cindbest真空环境高低温测试技术
以下两个应用需要真空测试环境。
极低温测试:
因为晶圆在低温大气环境测试时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。
高温无氧化测试:
当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时,氧化现象会越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。
晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换,因为热胀冷缩现象,定位好的探针与器件电极间会有相对位移,这时需要针座的重新定位,cindbest针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。
特点:
载物chuck 温度范围:4.2k-480k
外置4个定位针臂
探针x-y-z三方向移动,行程:25mm,定位精度:10微米
针臂定位精度可以升级为0.7微米
多可以外置6个定位针臂
载物chuck 大可到2寸
双屏蔽chuck高低温时达到100fa 的测试精度
极限真空到10-10 torr
可以选择射频配件做高67 ghz的射频测试
可以选择防震桌
可以选择超高真空腔体
客户定制
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