PE-CVD
- 供应商
- 北京维意真空技术应用有限责任公司
- 认证
- 报价
- ¥200000.00元每台
- 联系电话
- 010-67947887
- 手机号
- 15611171559
- 销售部经理
- 于磊
- 所在地
- 北京市大兴区旧桥路25号院
- 更新时间
- 2021-11-16 15:45
三温区pe-cvd技术参数
名称 | 规格 | |
产品名称 | pecve智能一体机 | |
显示模式 | 7"真彩触摸屏液晶显示(lcd) | |
温度曲线 | 30段"时间—温度曲线"任意可设 | |
预存曲线 | 可预存15条温度曲线 | |
操作界面 | 图形界面提示,触摸屏输入 | 实时监控,动态显示“时间-温度曲线” |
超温报警 | 有 | |
断偶提示 | ||
测温元件 | s型热电偶 | |
升温速率 | 0-30 ℃/min | |
工作电源 | ac380v /50hz | |
整机功率 | 12kw | |
温度 | 1400℃ | |
长期工作温度 | 1350℃ | |
加热区域 | 三个加热区域 | |
控温方式 | 模糊pid控制和自整定调节,智能化30段可编程控制, | |
质量流量计:四路 | 型号采用d07-7及对应显示仪表 | |
气体种类 | 氢气:200sccm甲烷:100 sccm氮气:750 sccm氩气:300 sccm | |
射频电源 | 功率500w,频率:13.56mhz | |
真空计 | 测量范围0.01-100000pa | |
真空泵 | trp-36 | |
真空度 | 5pa | |
手持式测温仪 | s型热电偶 长度500mm | |
刚玉管 | 100*2000 | |
石英管 | 80*2000 | |
软件功能 | 1:加热温区移动速度触摸屏可以调节。 2:射频电源开启时间,可以设定,时间到后自动停止射频电源。 3:自动切换气体功能,(不同温度通入不同气体,或者根据需 求进行定做)。 4:自动检测真空度,根据真空度的大小,自动启动射频电源。 5:真空泵自动启动,根据真空度,系统自动判断是否需要启动 真空泵。 6:其他功能根据要求定做. | |
包装模式 | 三合板木质包装箱 | |
随机配件 | 石英舟3只;刚玉坩埚3只;炉钩一个;高温手套一套;随机工具;说明书1份;。 |
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