MOCVD机台8加8外延设备滤芯

veeco k465i外延设备滤芯

产品说明：

该产品系我司针对veeco k465i设备设计生产的滤芯，安装于真空泵前，用于滤除混合气体中的粉尘和颗粒；

2只/组（粗滤、细滤）

组成材料：

1、滤材：耐高温玻纤滤料

2、支撑材料：双面304#不锈钢金属网

3、骨架：304#不锈钢菱形网

4、密封垫圈：硅发泡橡胶垫片

5、密封胶：硅橡胶

规格：

1、端盖：φ360*φ225，304#不锈钢

2、耐高温密封垫：φ340*φ265*t5

3、折数：一级（100μm）:118折,折高65mm;二级（25μm）:88折，折高65mm

过滤效率：

1、粗滤：100μm=90%

2、细滤：25μm=99.95%

3、透气量：1000l/sec/㎡

产品特性：

1、采用两级过滤工艺，分级过滤杂质、有效去除不同大小的颗粒杂质。

2、波纹工艺，有效过滤面积增加，容污能力强，使用周期长。

3、滤料采用玻纤滤料，具耐高温、耐腐蚀，长期使用温度可达250度以上。

4、专用的高精度过滤材料，空隙均匀，过滤精度高，有效保护设备。