供应替代爱德华EH250罗茨真空泵产品

供应商
东莞市大路通真空设备制造有限公司
认证
报价
5000.00元每台
联系电话
86-076983219280
手机号
13929419909
顾问
谢文燕
所在地
中国广东东莞市寮步镇塘唇管理区塘唇工业区
更新时间
2017-07-21 10:07

详细介绍

产品说明

爱德华eh250罗茨真空泵主要是指具有一对同步、高速旋转的鞋底形转子的真空泵,但是对于其来说不可以单独抽气,前级还是需配油封、水环等可直排大气。其的泵内装有两个向相反方向同步运转的叶形转子,转子间、转子与泵壳内壁间有细小空隙而互不接触的一种变容式真空泵。

产品用途:

广泛应用于真空镀膜、微电子、光电半导体、太阳能、冶炼、封装测试、真空含浸、等离子清洗等行业。

产品特点:

1、启动快,耗功少,运转维护费用低,抽速大、效率高;

2、被抽气体中所含的少量水蒸汽和灰尘不敏感,在100~1帕压力范围内有较大抽气速率,能迅速排除突然放出的气体;

3、泵腔内无需用油密封和润滑,可减少油蒸气对真空系统的污染;

4、泵腔内无压缩,无排气阀。结构简单、紧凑,对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感;

5、转子具有良好的几何对称性,故振动小,运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙

6、不用润滑,摩擦损失小,可大大降低驱动功率,从而可实现较高转速;

工作原理

由于转子的不断旋转,被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的缸体空间内,再经排气口排出。由于吸气后缸体空间是全封闭状态,所以,在泵腔内气体没有压缩和膨胀。但当转子顶部转过排气口边缘,缸体空间与排气侧相通时,由于排气侧气体压强较高,则有一部分气体返冲到缸体空间中去,使气体压强突然增高。当转子继续转动时,气体排出泵外。


罗茨真空泵、爱德华EH250罗茨真空泵、无油真空泵
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