CVD金刚石生长设备 中碳
- 供应商
- 中科联碳(北京)科技有限公司
- 认证
- 品牌
- 中碳
- 型号
- 200
- 规格
- ZT-200
- 手机号
- 13901056129
- 联系人
- 晏双利
- 所在地
- 北京市海淀区塔院朗秋园甲8号2号楼北京创银宾馆2026室
品牌 | 中碳 | 型号 | 200 |
规格 | zt-200 | 产品别名 | 化学气相沉积金刚石设备 |
用途 | 生长cvd金刚石厚膜,镀膜刀具 | 适用行业 | 超硬材料生产 |
zt-200热丝cvd金刚石设备技术指标
设备名称 | 热丝cvd金刚石设备 |
设备型号 | zt-200 |
生长膜种类 | 金刚石厚膜 |
真空室尺寸 | φ650mm×h550mm |
真空室结构 | 立式前开门,双层水冷 |
基片台尺寸 | φ200mm |
基片台均匀区尺寸 | 120mm×120mm |
基片台升降范围 | 可调,转速可调0-3 rpm |
极限真空 | 1.3×10-3pa |
工作真空 | ~200 torr |
真空系统组成 | 扩散泵+机械泵+维持泵 |
真空测量方式 | 数显复合真空计、薄膜压力计 |
气体控制方式 | 3路气体质量流量计及显示系统 |
保 压 | 自1.3x10-3pa,24h压降≤20pa |
反应气体 | ch4(4e),h2(4e或5e) |
设备控制方式 | 手动或自动 |
报警系统 | 对泵、电极缺水、断水等异常情况进行报警 |
电源 | 30kw电源一套 |
电源型式 | 热丝直流电源 |
设备重量 | ~1500kg |
设备占地面积 | 3000mm×2000mm |
设备环境要求 | 供电:三相五线380v,供电总功率≥35kw冷却水系统:冷却循环水机,供水水温:20-30℃,自动控制环境温度:≤28℃车间防尘,洁净 |
提供cvd金刚石成套设备及厚膜工艺。
该设备经5年实际生产应用,数次改进,稳定可靠,生长工艺成熟,产品已经批量生产和销售,产品质量获得用户好评。同时可以提供所有配套设备,实现一次安装到位,用短时间调试成功。
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