六氟化硫的安全使用有严格要求，尽管其本身无毒，但在密闭空间内泄漏后，因密度远大于空气，会沉积在低洼处（如电缆沟、地下室），导致局部氧气含量降低。当氧气浓度低于19.5%时，人体会出现头晕、恶心、乏力等窒息症状，严重时会危及生命。因此，使用六氟化硫的场所必须保持良好通风，安装氧气浓度和六氟化硫泄漏检测仪，定期检查设备密封性，操作人员需规范操作，佩戴相应防护装备。
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