PEEK探头加工精密零件小批量CNC加工

这次图纸名称是FR高度规探头，零件名称探头，材质PEEK，数量5个，图纸比例5:1——实物非常小。

从效果图和尺寸图看，整体是个三台阶阶梯轴结构：顶端细销 Φ1.50 mm、高度 4.10mm，顶端面平面度 0.05 mm；中间过渡台 Φ3mm、高度 2 mm；底座圆台 Φ5.50 mm、高度 3mm；Zui下端是 M2.5 外螺纹、长度 4mm，螺纹外径 Φ3.20 mm。

FR高度规是半导体晶圆检测设备里常见的接触式测量工具，这个探头直接接触晶圆表面或测量基准面，Φ1.50mm 的顶端细销就是接触点。PEEK 材质在这里的选择逻辑很清楚：比不锈钢更轻，不引入金属离子污染，耐化学腐蚀，不会划伤晶圆表面，用在半导体洁净环境里比金属探头更安全。类似的应用还有探针台接触块、晶圆高度检测定位销、CMP设备厚度测量接触件等。

这件零件的难点藏在那个 Φ1.50 mm 的顶端细销里。Φ1.50 mm、高 4.10mm，长径比接近 3:1，顶端面平面度要求 0.05 mm。PEEK 材质切削性在工程塑料里算好的，但 Φ1.50 mm 这个尺寸在车床上用常规刀具处理，稍微有点偏心或振动，顶端就会出现圆度超差或端面歪斜，0.05mm 的平面度很难稳定保证。

处理方式是用走心机加工。走心机的导套支撑让细径杆在切削时不悬空，减少径向力导致的偏心，Φ1.50mm 的外圆和端面在同一程序里完成，同轴度和平面度都在机床精度范围内控制。精车完顶端面后，直接在线测量平面度，确认0.05 mm 以内才进下一步。

M2.5外螺纹在 PEEK 上车削，螺距 0.45 mm，牙型细，刀具必须锋利，转速 500 rpm 以下，切削力稍大就会让 PEEK 局部弹性变形，螺距一致性就差了。车完每件用 M2.5 通止规检验，不合格直接报废。三个台阶直径 1.50 / 3 / 5.50 mm 在走心机上同轴车出，不换夹具。PEEK 精车后有微小弹性回弹，参数要提前在试件上校准，再批量加工正式件。

5个数量，小批量非标零件加工，每件都是功能性测量接触件，检测标准不打折。顶端 Φ1.50 mm 外径用千分尺逐件测，端面平面度用三坐标逐件检，M2.5 螺纹通止规逐件过，三项全合格才装袋。

莱图加做半导体设备零件加工，PEEK零件加工在我们的工程塑料加工体系里是常规项目，走心机设备覆盖这类微型高精度旋转件。有类似PEEK 或其他工程塑料微型精密件，把图纸发过来直接评估。