AGPS21C是一款高精度的电容薄膜真空规，属于AGP21系列真空测量仪表。该产品专为在苛刻的工业生产环境中提供稳定、的低真空压力测量而设计，是现代工业自动化控制系统中的关键传感器。它通过检测电容变化来反映真空腔体内的压力值，广泛应用于对工艺控制要求极高的制造领域。
产品概述与特性AGPS21C的核心优势在于其的测量精度和长期稳定性。它采用先进的电容式传感技术，能够在宽广的真空范围内提供快速、可靠的压力读数，满足关键工艺过程的控制需求。
高精度测量：该真空规具备极高的测量精度，读数误差可控制在极小范围内（如±0.3%读数），确保了工艺过程的控制，对于提升产品良率至关重要。
优异的抗腐蚀性：与气体接触的部件选用高性能的耐高温合金材料（如INCONEL合金），使其能够在等离子体刻蚀、化学气相沉积等具有腐蚀性气体的恶劣环境中长期稳定工作，延长了使用寿命。
快速响应：具备极快的响应时间，能够实时捕捉真空腔体内压力的微小波动，并将数据迅速反馈给控制系统，实现动态的工艺调整。
数字化通信与显示：配备TFT-LCD彩色显示屏，支持帕斯卡（Pa）、托（Torr）、毫巴（mbar）等多种常用压力单位的直观显示与切换。同时，它支持标准的Modbus RTU通信协议，便于集成到自动化网络中，实现远程监控和数据采集。
灵活的机械连接：产品标配标准的KF16真空法兰接口，接口材质为高品质不锈钢，并经过电抛光处理，确保了优异的气密性和安装便捷性。此外，还可选配多种转接头，以适应不同设备和系统的连接需求。
以下是AGPS21C电容薄膜真空规的主要技术参数：
| 产品型号 | AGPS21C |
| 产品类型 | 电容薄膜真空规 |
| 所属系列 | AGP21系列 |
| 测量原理 | 电容式 |
| 测量精度 | ±0.3% 读数 |
| 压力接口 | 标准KF16法兰 |
| 接口材质 | 316L不锈钢（电抛光） |
| 触气材质 | INCONEL高温耐蚀合金 |
| 显示方式 | TFT-LCD彩屏 |
| 通信协议 | Modbus RTU |
| 压力单位 | Pa, Torr, mbar |
| 防护等级 | IP40 |
| 工作温度 | 0℃ 至 50℃ |
AGPS21C凭借其高精度和高可靠性，广泛应用于对真空环境有严格要求的制造行业。
在半导体制造中，它用于监控化学气相沉积（CVD）和原子层沉积（ALD）腔室内的压力，确保薄膜生长的均匀性和质量；在光伏产业中，它为太阳能电池板的镀膜工艺提供稳定的真空测量支持；在石油化工领域，它可用于真空蒸馏和干燥过程的监控；此外，在真空灭菌、真空包装和真空干燥等设备中，AGPS21C也发挥着重要作用，保障工艺流程的稳定与高效。
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