RGA测试中心 残余气体分析测试机构

RGA测试中心 残余气体分析测试机构

RGA测试（残余气体分析测试）是通过专业仪器检测封闭空间内残余气体的成分、浓度及变化趋势的专项测试技术，广泛应用于半导体制造、真空设备、电子器件、航空航天等领域，其检测精度、灵敏度、分析效率等指标，直接决定产品的可靠性与使用寿命，可有效排查密封缺陷、污染隐患。清析检测搭建专业RGA测试平台，配备高精度检测设备，为各类产品提供精准、高效的残余气体分析服务，助力企业把控产品品质，规避使用风险。

【检测标准】

GB/T 31543-2015《半导体器件 残余气体分析方法》

ASTM E1595-2019《残余气体分析标准试验方法》

ISO 14232-2017《真空技术 残余气体分析 质谱仪的校准和使用》

SJ/T 11467-2013《射频电源通用技术条件》（参考真空环境测试）

GB/T 29558-2013《真空技术 质谱法残余气体分析 词汇》

IEC 60664-1:2020《绝缘配合 第1部分：定义、原则和规则》（参考电子器件密封测试）

ASTM F1110-2019《密封器件残余气体分析标准指南》

GB/T 30449-2013《纳米二氧化钛检测方法》（参考微量气体检测）

【检测项目】

气体成分定性分析：识别封闭空间内残余气体的种类，如氧气、氮气、水蒸气、二氧化碳、甲烷、一氧化碳等。

气体浓度定量分析：测定各类残余气体的浓度，精准计算浓度变化趋势，检出限可达ppm级。

密封性能评估：通过残余气体浓度变化，判断产品密封完整性，排查密封缺陷、泄漏隐患。

污染检测：识别残余气体中的污染物（如油污、挥发性有机物），评估产品内部污染程度。

动态监测：持续跟踪残余气体成分与浓度变化，分析气体变化规律，评估产品长期稳定性。

真空度关联分析：结合真空度测试数据，分析残余气体对真空环境的影响，优化产品设计。

【检测范围】

半导体领域：半导体芯片、集成电路、半导体封装器件、真空镀膜设备。

电子器件领域：真空电子管、密封继电器、电容器、传感器、连接器。

航空航天领域：航天器密封部件、真空腔体、卫星器件、航空发动机密封件。

其他领域：真空设备腔体、密封容器、电池封装、特种材料密封件。

【检测优势】

配备高精度残余气体分析仪、真空系统、质谱仪等专业设备，检测灵敏度高，可精准捕捉ppm级微量气体。

采用标准化测试流程，严格控制测试环境与条件，有效降低干扰，确保检测结果准确、可重复。

针对不同行业、不同产品类型，定制专属测试方案，可实现静态、动态两种测试模式，贴合产品使用场景。

支持批量测试、加急测试、现场测试，覆盖产品研发、生产、验收全流程，灵活配合企业进度。

测试报告包含详细的气体成分谱图、浓度数据、密封性能评估及优化建议，可直接用于产品质量验证、合规备案。

清析技术研究院可提供分析、检测、测试、鉴定、研发等技术服务，服务领域涵盖材料、化工、环境、食品、农产品等。资质齐全，具备CMA、CNAS、CATL等资质证书。实验室设施完备，建有色谱分析室、光谱分析室、无机预处理室、热处理室、有机预处理室；配置有HS-GCMS、PY-GCMS、GC-FID/ECD/TCD、ICP-OES、AAS、UV、金相显微镜、MICRO-IR、LC、XRF等仪器。我院总部位于北京，全国在上海、广州、深圳、合肥、南京、成都、武汉、杭州、天津、济南、郑州、西安、沈阳等地区设立29家分院，拥有超过500名专业技术人员，20000㎡以上的实验及办公场地。每年出具超过20000份报告，累计服务客户45000多家，并且我院环境事业部入选第三次全国土壤普查检测实验室名单。直属机构安徽清析司法鉴定所获批司法厅颁发的司法鉴定许可证、并通过司法部司法鉴定科学研究院34项能力验证。

【仪器设备】

现配有X射线荧光光谱仪（XRF）、阿贝折射仪、闭口闪点自动测定仪、红外光谱仪（IR）、火焰光度计、快速溶剂萃取仪、电感耦合等离子体光谱仪（ICP）、电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）、顶空气相色谱质谱联用仪(HS-GCMS）、捕集阱顶空-气质联用仪(PT-GCMS)、恒温恒湿系统、离子色谱仪（IC)、气相色谱仪（GC）、气相色谱质谱联用仪（GCMS）、气相色谱质谱联用仪（热裂解）GC-MS(PY)、热脱附-GCMS、示波极谱仪等、天平、微波消解仪、显微红外光谱仪（FT-IR）、显微镜、旋转蒸发仪、液相色谱串联质谱联用仪（LC-MS)、紫外可见分光光度计（UV)、液相色谱仪、原子荧光（AFS）、荧光白度计、原子吸收光谱（AAS)。

【资质证书】

已获得检验检测机构资质认定证书（CMA资质证书）、中国合格评定国家认可委员会实验室认可证书（CNAS资质证书）、农产品质量安全检测机构考核合格证书（CATL资质证书）、质量管理体系、环境管理体系、职业健康安全管理体系认证证书等资质证书。直属机构安徽清析司法鉴定所获批颁发的司法鉴定许可证、并通过司法鉴定科学研究院34项能力验证。

【服务客户】

我院每年出具超过20000份报告，累计服务客户45000多家，客户类型包含公司单位、高校及科研院所、500强企业、跨国公司等。