
高温箱式高真空烧结1400℃氮气/氩气可控气氛炉是一款集超高真空环境与精密气氛控制于一体的高端烧结设备,专为高端陶瓷、硬质合金、半导体材料等在严苛环境下的无氧烧结需求设计,适用于科研院所与特种材料生产场景。
真空-气氛双模式系统
分子泵机组:极限真空≤5×10⁻⁴Pa(标配机械泵+分子泵),支持真空烧结后无缝切换至保护气氛。
气体动态调控:采用质量流量计闭环控制,氮气(N₂)/氩气(Ar)流量精度±0.1L/min,氧含量可稳定≤2ppm。
温度范围:室温~1400℃(长期稳定工作 ≤ 1350℃)
控温精度:±1℃;温场均匀性:±3~±5℃
加热元件:硅碳棒(SiC)(标配),可选 硅钼棒
炉膛材质:高纯氧化铝多晶纤维(Al₂O₃≥99%),轻质、隔热、不掉渣
真空系统:
标配:机械泵 + 罗茨泵,极限真空 ≤ 1Pa(10⁻³ mbar)
选配:分子泵机组,极限真空 5×10⁻⁴ Pa(高真空)
气氛控制:
气体类型:高纯氮气 (N₂)、氩气 (Ar)(99.999%)
控制方式:双路质量流量控制器(MFC),独立控量
工作模式:真空 → 充气氛 / 动态气氛 / 微正压保护
炉体结构:双层钢板 + 风冷 / 水冷,炉壳温度<60℃
炉膛尺寸:常规 200×200×200mm 至 600×400×400mm(可定制)
加热:U 型硅碳棒四面均匀布置,热辐射为主,升温速率 0~20℃/min。
保温:多层复合纤维炉衬,热容小、升温快、节能 40%+。
测温:B 型铂铑热电偶,精准测温 + 超温保护。
二级泵组:机械泵预抽 → 分子泵(可选)达到高真空。
密封:不锈钢法兰 + 高温氟胶 / 金属密封圈,保压性能强。
目的:彻底排氧、除水汽、脱气,避免样品氧化与气孔。
双气路:N₂、Ar 独立控制,可单独或混合使用。
流量精度:MFC 控制,精度 ±1%,流量 0~20L/min 可调。
微正压:维持炉内微正压(0.02~0.05MPa),防止外界空气渗入。
控制器:触摸屏 + PLC/PID,可编 30~50 段程序曲线。
功能:自动升温、保温、降温;程序存储、故障报警、远程通讯。
超温自动断电
真空 / 压力异常保护
冷却水欠流报警
防爆阀(氢气工艺选配)
装料:样品放入坩埚,关闭炉门并锁紧。
抽真空:启动真空泵,抽至 1~10⁻³ Pa 并检漏。
洗气:充入高纯 N₂/Ar 至常压,重复 2~3 次,彻底置换残留空气。
加热:按设定程序升温(如 10℃/min),恒温段通微正压气流保护。
冷却:高温段保持气氛保护,随炉缓冷至 200℃ 以下方可开盖。
陶瓷烧结:氧化铝、氧化锆、氮化铝、碳化硅等无氧化烧结。
粉末冶金:不锈钢、硬质合金、高熵合金的真空 / 气氛烧结。
电子材料:锂电池正负极、MLCC、陶瓷基片、贵金属浆料烧成。
新材料:碳纳米管、石墨烯、特种玻璃、金属玻璃热处理。

预抽真空箱式气氛炉,可编程箱式气氛炉,箱式气氛电阻炉,高温气氛烧结炉,陶瓷纤维气氛烧结炉
马弗炉,高温炉,箱式炉,气氛炉,管式炉,升降炉,台车炉,熔块炉等二十多种炉型
一般项目:烘炉、熔炉及电炉销售;机械设备研发;新材料技术研发;普通机械设备安装服务;仪器仪表销售;电气设备修理;通用设备修理;货物进出口;技术进出口;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
德耐热(上海)电炉有限公司已经拥有超过20种标准化工业电炉,处理温度从400℃到1800℃。应用领域有:陶艺、陶瓷、化工、实验室和牙科、金属和塑料热处理及表面处理技术、铸造、玻璃等。产品系列有箱式电炉、马弗炉、高温电阻炉、管式气氛炉、真空气氛炉、梯度电炉、井式电炉、钟罩式电炉、台车电炉、坩埚保温及熔化电炉、井式电炉等各种规格的工业电炉。这些电炉广泛应用于各生产企业和各大院校及研究机构。程控仪表具有自动升温、保温、降温、停机、超温保护、可...