丽江石英管双温区实验抽真空1400度高温气体保护管式炉

石英管双温区1400℃真空气氛保护管式炉技术方案

1. 温度系统：

2. 独立双温区控制（RT-1400℃）

3. 温区间距：150-300mm可调

4. 恒温区长度：≥150mm/温区（ΔT≤±3℃）

5. 真空性能：

6. 极限真空：5×10⁻⁴Pa（分子泵+机械泵组）

7. 漏率：≤1×10⁻⁹Pa·m³/s（氦质谱检漏）

8. 抽速曲线：10⁵Pa→10⁻²Pa≤15分钟

9. 气氛控制：

10. 支持惰性/还原性气体（Ar/N₂/H₂混合）

11. 质量流量计控制（0-1000sccm×4通道）

12. 工作压力范围：10⁻³Pa-0.2MPa

1. 石英管系统：

2. 高纯熔融石英管（ODΦ80/100/120mm）

3. 双层水冷法兰（带磁流体旋转装置）

4. 可选蓝宝石观察窗（耐温≥1000℃）

5. 加热模块：

6. 氧化锆纤维包覆硅钼棒加热体

7. 梯度温场设计（温差可编程设定）

8. 交叉补偿加热技术（专利号CN20XXXXXX）

9. 气体处理：

10. 集成式气体纯化柱（O₂<0.1ppm）

11. 高温尾气裂解单元（1000℃催化床）

12. 防爆型气体切换面板

1. 温控系统：

2. 双通道30段程序控温（可独立编程）

3. S型热电偶+红外光纤双反馈

4. 升温斜率控制精度：±0.5℃/min

5. 真空管理：

6. 全自动真空序列控制（7个电磁阀联锁）

7. 实时真空度-温度安全曲线监控

8. 异常压力自动充气保护

9. 人机交互：

10. 10.1寸工业触摸屏（配方存储≥200组）

11. 三维温度场模拟显示

12. 支持OPC-UA通讯协议

| 参数 | 温区A | 温区B | |------------|-------|-------| | 高温度 | 1400℃| 1400℃ | | 恒温精度 | ±1℃ | ±1℃ | | 大功率 | 8kW | 8kW | | 升温速率 | 15℃/min| 15℃/min |

1. 材料合成：

2. 钙钛矿单晶生长（空间气相输运法）

3. 碳化硅纤维连续制备

4. 高温超导带材热处理

5. 表征实验：

6. 原位XRD样品预处理

7. 薄膜材料梯度退火

8. 催化材料活化再生

石英管双温区实验型 1400℃ 抽真空 + 气体保护管式炉专业、规范、精准，你拿去就能用。

一、设备全称

1400℃双温区真空气氛保护管式炉（石英管）

二、核心技术参数（标准高配版）

1. 温度系统

2. 真空系统

3. 气氛气路系统

4. 炉管与密封

5. 炉体结构

三、典型配置方案（实验 CVD 常用）

1. 双温区独立温控系统

2. 硅碳棒加热

3. 石英管 + 真空法兰组件

4. 双级旋片真空泵 + 数显真空计

5. 多路质量流量计 MFC 气路

6. 触摸屏控制系统、USB 数据存储

7. RS485 / 以太网通讯（可选）

四、适用实验工艺

五、选型关键注意事项

1. 石英管耐温上限约 1100℃左右，1400℃是炉膛加热温度，实际样品区温度建议控制在1100℃以内，避免石英管软化变形。

2. 双温区适合两段温度梯度工艺，如 CVD 前驱体分解区 + 生长区。

3. 真空 + 气氛切换流程：抽真空 → 洗气 → 再抽真空 → 通保护气，保证气氛纯度。

4. 石英管易碎，严禁骤冷骤热、机械撞击，高温状态下禁止触碰炉管。

5. 做 CVD 一定要配质量流量计 MFC，不要用转子流量计，精度差且不稳定。