产品名称:半导体静电卡盘专用热喷涂粉(氧化铝、氧化钇系列)
核心定位:专为半导体静电卡盘研发,适配光刻机、蚀刻机、液晶显示屏等设备的静电卡盘涂覆,主打高附着力、高致密度、长使用寿命,可替代日本进口产品,满足高端静电卡盘的使用需求。
核心参数:氧化铝系列:η相占比>75%,附着力≥20MPa,涂层致密度≥99%,硬度HV980,使用周期≥6个月;氧化钇系列:防氟侵蚀,无晶格缺陷,附着力强,适配静电卡盘严苛工况;均适配SPS等离子体熔射工艺,无打火、漏气现象。
产品优势:经深圳惠科等企业实际验证,损坏周期超半年,性能对标日本福吉米、新越同类产品;克服国内同类产品附着力低、孔隙率高、涂层脱落等缺陷,加工效率高,可适配3000x3000mm大尺寸静电卡盘。
应用场景:光刻机、蚀刻机工艺腔静电卡盘、液晶显示屏静电卡盘(上部/下部电极)涂覆,用于半导体芯片光刻、蚀刻及液晶玻璃加工等工序,保障静电卡盘稳定产生静电引力。
采购优势:国内唯一可满足高端静电卡盘使用需求的产品,产能稳定,可批量供货;生产成本低,相比进口产品大幅降低采购成本,团队拥有20年行业经验,可提供完善的技术支持及售后保障。

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昆山照动贸易有限责任公司是经营进出口贸易的贸易公司,开展国内外贸易,合作生产,转口贸易等方式的经营业务,成立于2012年3月。目前是日本B&PLUS公司在中国区的一级代理商,主要经营denka代理商,denka碳黑,氧化钇,稀土氧化钇喷粉,半导体氧化钇稀土,氧化钇喷粉,高纯氧化钇,等离子氧化钇喷涂,DENKA球形氧化铝,氧化钇陶瓷粉,半导体氧化钇粉,热喷涂氧化钇粉,高纯氧化钇粉末,氧化钇喷涂粉体,等离子喷涂氧化钇陶瓷粉,超音速喷涂氧化钇...