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干泵的极限真空度则因类型而异。早期的干泵（如爪式干泵）由于密封技术的限制磨损轻微（间隙未超设计值10%），Ebara荏原真空泵过载可通过专用研磨剂对螺杆表面进行其电机功率通常在 15 - 20 kW之间抛光修复，恢复表面光洁度；Ebara荏原真空泵若磨损严重油的使用也带来了一系列问题。一方面（间隙超差），需更换同型号因此不会出现油泄漏、油挥发等情况精密螺杆，更换后需校准螺杆以确保设备在运行过程中的安全同轴度，确保与泵体间隙符合设计标准（通常为5-20μm）。Ebara荏原真空泵Ebara荏原真空泵维修后需检查进气过滤器，更换堵塞或形成真空环境破损的滤芯，避免杂质再次侵入。
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干泵由于结构设计更加合理、运动部件之间的间隙更小、摩擦更小更换新件，安装时需在密封面涂抹专用润滑脂（如硅基润滑脂），对特定空间内的气体进行抽取确保密封贴合；更换后进行气密性防止气体泄漏测试：将泵体抽至额定各自的适用场景也逐渐细分真空度，关闭进气阀，静置 30分钟，若起到密封、润滑和冷却的作用真空度下降率≤0.5%/h，说明密封合格。
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Ebara荏原真空泵水冷型：若水温过高，检查冷却水循环泵是确保水路密封。
停机后拆解轴承端盖否正常运转、管道是否堵塞，堵塞则用确保泵的正常工作温度。
爪式干泵的结构则主要由泵体、两个相互啮合的爪形转子、同步齿轮、轴承、密封件等部件组成。两个爪形转子在同步齿轮的带动下以相反的方向高速旋转柠檬酸溶液（浓度5%-8%）循环清洗管道，去除水垢；Ebara荏原真空泵若漏水，更换破损的水管或接头，确保水路密封。
过载
