多晶炉波纹管 鑫波定制

 

产品说明：   

   

   隔热框架升降结构通过提升基架安装在设备炉体上部，主要有伺服电机产生驱动力，减速机变速，通过齿轮箱动力转向，软轴连轴器传动，直线导轨连接件高精度升降波纹管。这样使得提升杆的运动变成在真空内部的运动，从而将动密封转变为简单的静密封，提高了密封的可靠性、安全性、稳定性，真空保护性好，保证压升率指标，提高硅锭的质量。

 

技术指标：

 

1、真空漏率：1* 10-13pa·l/s；

 

2、压缩比：80%;

 

3、使用寿命：100万次；

 

4、材质：sus 316l。

 

用    途：主要用于晶体生长炉。

优势描述：耐高温、耐高压、密封性好！