六甲基二硅氮烷 硅烷化试剂 光刻胶助粘剂 硅橡胶控制剂

六甲基二硅氮烷（Hexamethyldisilazane，HMDS），CAS999-97-3，分子式C₆H₁₉NSi₂，分子量 161.40，是一种无色透明液体，具有氨样刺激性气味。其熔点约 -78°C，沸点约 125-126°C，密度约 0.77g/cm³，闪点约 28°C，属于易燃、腐蚀性液体（危险品）。

该产品的核心卖点在于“高效硅烷化试剂”与“强碱性”。在有机合成中，用于保护羟基、氨基等官能团，或作为强碱参与反应；在半导体工业中，作为光刻胶助粘剂，增强附着力；在气相色谱中，用于衍生化处理。

 基础信息

中文名：六甲基二硅氮烷

英文名：Hexamethyldisilazane

别名：HMDS、六甲基二硅胺烷

CAS号：999-97-3

分子式：C₆H₁₉NSi₂

分子量：161.39

 物理化学性质

外观：无色透明液体，有强烈的氨味。

沸点：125℃。

熔点：-78℃。

密度：0.77 g/mL (20℃)。

溶解性：与水剧烈反应，与醇、、苯、氯仿、石油等多数有机溶剂混溶。

特性：具有强碱性和高反应活性。是高效的硅烷化试剂，用于保护羟基、氨基等活性基团。对湿气极其敏感，遇水迅速水解生成六甲基二硅氧烷和氨。

 主要用途

硅烷化试剂：在气相色谱中用作衍生化试剂，将极性化合物（如醇、酚、酸、胺）转化为易挥发的硅衍生物，以便分析。是药物、农药、食品分析的关键前处理试剂。

半导体与电子：在芯片制造中用作光刻胶的助粘剂（增粘剂），增强光刻胶与硅片表面的附着力。也用于CVD工艺。

有机合成：作为强碱、脱水剂和硅基保护基引入试剂，广泛用于复杂天然产物和药物分子的合成。

硅橡胶：用作硅橡胶的结构控制剂，调节生胶的结构和性能。

 安全与储存

危险性：易燃，闪点约 28℃。遇湿易燃，遇水剧烈反应释放氨气和可燃的六甲基二硅氧烷。强腐蚀性，对眼睛、皮肤和呼吸道有强烈刺激性和腐蚀性。蒸气对黏膜有强刺激性。

储存：严格密封，充氮保护，储存于阴凉、干燥、通风的库房，远离火种、热源。库温不宜超过30℃。严禁与氧化剂、酸类、水、醇类等接触。

操作防护：必须在通风橱内，佩戴全面罩防毒面具、耐化学品手套、防护眼镜和防化服。

 注意事项

操作铁律：juedui防水、防潮。所有操作必须在无水条件下进行，器皿必须彻底干燥。

泄漏处理：严禁用水！应立即用干燥沙土或惰性材料吸附，在通风橱内小心收集，可用异丙醇小心淬灭，再按危险废物处置。

运输：属于易燃液体和腐蚀性物品，需按危险化学品运输规定执行。