半导体生产制造车间检测中心，半导体生产制造车间第三方检测机构

半导体生产制造车间检测是对半导体生产车间的洁净度、环境调控精度、结构安全性及配套设施可靠性开展的专业验证工作，通过精准检测手段评估车间的洁净等级、温湿度控制能力、防静电性能等关键维度，保障车间满足半导体芯片制造的严苛生产环境要求，规避粉尘、温湿度波动等因素对产品良率的影响，是半导体车间建设验收、日常运维及工艺升级环节质量把控的重要举措。

检测范围

晶圆制造洁净车间、芯片封装测试车间、半导体器件研发车间、光刻工艺专用车间、蚀刻工序洁净车间、薄膜沉积生产车间、离子注入工艺车间、半导体材料制备车间、集成电路封装车间、功率半导体制造车间、第三代半导体生产车间、半导体清洗工艺车间、半导体设备装配车间、半导体中试车间、老旧车间洁净度升级改造项目

检测项目

车间洁净度检测、温湿度均匀性检测、防静电性能检测、空气悬浮粒子检测、沉降菌检测、换气次数检测、压差梯度检测、洁净区密封性检测、工艺管道气密性检测、纯水水质检测、高纯气体纯度检测、地面平整度检测、振动控制检测、电磁兼容性检测、照明均匀度检测

检测标准

GB 50073-2013 洁净厂房设计规范

GB/T 25915.1-2010 洁净室及相关受控环境 第1部分：空气洁净度等级

GB 50472-2008 电子工业洁净厂房设计规范

GB/T 16292-2010 医药工业洁净室悬浮粒子的测试方法

GB/T 测量、控制和实验室用的电设备 电磁兼容性要求 第1部分：通用要求