制冷剂四氟氟甲烷R14 国产

四氟甲烷

质
量
指
标

指 标 名 称

指 标

含量，%(v/v)

≥ 99.995 99.99 99.90

氮气，%(v/v)

≤ 0.002 0.004 0.035

氧气，%(v/v)

≤ 0.001 0.002 0.035

一氧化碳，%(v/v)

≤ 0.001 0.001 0.002

二氧化碳，%(v/v)

≤ 0.001 0.002 0.008

水份，（mg/g）

≤ 2.0 3.0 5.0

酸度，（mg/g）

≤ 0.1 0.1 0.1

总杂质含量（ppmv）

≤ 50 100 1000

用
途

用于微电子工业的等离子蚀刻剂，电子清洗，冶金，低温制冷剂，合成橡胶。