高纯氦指纯度≥99.999%的氦气，总杂质含量≤10ppm，需经低温精馏、吸附提纯等工艺从天然气中分离，严格控制氖、氢、氧、水分等杂质。其用途广泛：在电子领域用于半导体芯片制造的保护气与刻蚀气；医疗领域作为核磁共振成像（MRI）的冷却介质；科研中用作超导装置制冷剂、气相色谱载气；还可用于航空航天燃料系统加压、高端焊接保护及潜水呼吸混合气配制。
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