江苏省徐州市电子工业用氧化亚氮检测中心

电子工业用氧化亚氮是半导体制造领域专用的高纯特种气体，对水分、氧气、氮气等杂质含量实施严格管控，可有效避免杂质介入芯片制程引发的良率下降或性能缺陷。

其在微电子制程中承担关键作用：作为等离子体蚀刻气体，可对硅基材料、氮化硅等半导体薄膜进行高精度图形化蚀刻；作为掺杂辅助气体参与离子注入工艺，实现半导体器件电学参数的精准调控；同时可作为反应气源参与薄膜沉积，助力制备高性能绝缘层与功能薄膜，是芯片制造核心工序的必备特种气体。

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1、无损检测：可为高铁零部件、汽车零部件、航空航天、压力容器、游乐设施、钢结构等各类行业提供无损检测服务，
2、工业气体检测：氧气、氮气、氦气、氩气、甲烷、天然气、沼气、煤气、电子工业气体、食品用气体、医用气体，焊接混合气等气体成分的检测，
3、金属检测：成分分析，腐蚀试验，机械物理性能检测，特种气路管道检测等，
4、其他：油品检测，化工品检测，水质监测。