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　液晶的生产中需要jingque的划线及玻璃磨边，FA-M3以其高速性和横河DD马达及直线电机完美结合
为客户提供了一整套横河解决方案。
　

　　FA-M3系统构成例：

　　控制特点：
　　为了达到很高的精度要求，横河DD马达一圈需要4,096,000p／rev，这就控制分辨精度要足够高，FA-M3通过Mechatrobbbb通讯（10Mbps，8轴/1ms，15轴/2ms）或者高性能位控模块NC34（5Mpps脉冲命令输出，5Mpps编码器反馈）对DD马达进行jingque控制。
　　由于采用了DD马达，机器减少了机械部件，提高了刻线精度和生产效率。
　　由于采用了高可靠性的横河集成解决方案，使得机器高稳定、免维护。
　

　　FA-M3适用模块：
　　主控制器－－－－-F3SP53-4S/SP66-4S: 超高速CPU, 小扫描200μs，
　　☆基本命令17.5ns,小扫描200μs, 20-40K步的控制程序，平均只要3-5ms.
　　☆搭载3处理器并行处理，通信及人机不再占用扫描时间。
　　☆SP66配置高速以太网接口，与上位系统或触屏通讯更快。
　　各旋转轴控制－－－－-F3NC32/F3NC34/F3NC96
　　☆高达5Mpps的高速脉冲输出和10Mbps的通讯速度实现高速高精度控制。
　　☆Pattern经由/轨迹控制使运行曲线更顺畅、平滑，同时提高生产效率。
　　☆由外部输入直接启动位控，不再占用CPU程序且响应时间小于0.72ms
　　☆Mechatrobbbb多轴通讯控制节省设备配线和维护工作。
　　☆使用专用软件设定动作/测试/监视。节省繁琐的梯形图编程，缩短调试周期

清洗机广泛应用在晶片处理的很多阶段。清洗机分为单片清洗机和盒式清洗机。
　

　　FA-M3系统构成例：

　　控制要求：
　　　

　　不同的化学清洗济需要不同的旋转速度；即使相同的化学制剂在清洗和干燥阶段，盘片的旋转速度也不同。快速、平滑无停顿的速度控制是控制要点之一。
　

　　通常的PLC只有梯形加减速，在很短的时间内进行速度改变时，容易造成盘片的速度超调从而产生振动。而振动容易损坏脆弱的盘片。
　

　　jingque、快速、柔和的机械定位。采用了PASSBY的方式进行位置控制。以达到柔和、快速的定位控制。
　

　　在盘片旋转停止后，需要把速度控制更改为位置控制。因为盘片停止后需要保证盘片的方向。FA-M3可以很方便的进行速度、位置切换。
　

　　FA-M3适用模块：
　　主控制器－－－－-F3SP28-3S/53-4S: 超高速CPU, 小扫描200μs，
　　☆基本命令17.5ns,小扫描200μs, 保证系统全体的快速响应.
　　☆搭载3处理器并行处理，通信及人机不再占用扫描时间。
　　高速RS232/以太网通信－－－－-F3RZ82/F3LE11-0T
　　☆115Kbps 串行通信和100Mbps 以太网通信。
　　各旋转轴控制－－－－-F3NC32/F3NC34/F3NC96
　　☆高达5Mpps的高速脉冲输出和10Mbps的通讯速度实现高速高精度控制。
　　☆Pattern经由/轨迹控制使运行曲线更顺畅、平滑，同时提高生产效率。
　　☆由外部输入直接启动位控，不再占用CPU程序且响应时间小于0.72ms
　　☆Mechatrobbbb多轴通讯控制节省设备配线和维护工作。
　　☆使用专用软件设定动作/测试/监视。节省繁琐的梯形图编程，缩短调试周期