干式螺杆真空泵/半导体与电子/环保无油污染
- 供应商
- 广东欧立德真空设备有限公司
- 认证
- 区域
- 全国范围
- 功率
- 1.1KW-22KW
- 噪音
- 40dB-80dB
- 联系电话
- 18565918615
- 手机号
- 18565918615
- 邮箱
- 274985349@qq.com
- 销售总监
- 黄开松
- 所在地
- 东莞市东城区东城街道红荔路173号
- 更新时间
- 2026-03-03 08:40
在现代工业制造中，真空泵的应用愈发广泛，尤其是在半导体与电子领域，环保无油污染的需求愈显重要。我们公司推出的干式螺杆真空泵，正是为满足这一需求而设计，具备优良的结构原理、明显的产品优点，以及广泛的应用场景。
干式螺杆真空泵的工作原理相对简单而高效。它采用了螺杆式旋转设计，通过两个反向旋转的螺杆在泵腔内进行气体的压缩和输送。这种设计的优点在于，泵腔无需使用润滑油，从而避免了油雾对环境和产品的污染。干式运转使得泵的维护更为便捷，减少了因油污而产生的故障可能性。
干式螺杆真空泵的显著优点包括：
在实际应用场景中，干式螺杆真空泵表现出色。它特别适合半导体制造、电子元件加工、制药、食品包装、真空干燥等多个领域。以半导体生产为例，该领域对真空环境的要求极为严格，任何污染都可能影响芯片的性能和质量。我们的干式螺杆真空泵能够提供稳定并可靠的真空环境，确保生产过程顺利进行。
在电子行业，干式螺杆真空泵可以有效排除生产过程中产生的水分和气体，直接提升产品的品质。针对环保问题，该泵的无油设计与高效能，能够满足行业对环保标准的高要求，助力企业实现可持续发展。
我国的某些工业区，比如长三角地区，随着产业升级的步伐加快，环保政策的日益严格，企业亟需先进的设备来提升自身竞争力。在这种情况下，选择我们的干式螺杆真空泵，无疑是符合行业发展趋势的明智之举。
来说，干式螺杆真空泵以其独特的结构原理和无油环保的特性，成为半导体与电子行业的理想选择。它不仅提升了产品质量和生产效率，也响应了行业对环保的迫切需求。选择我们的干式螺杆真空泵，我们将确保为您的生产提供Zui优质的真空解决方案，助力每一位客户的成功与发展。
干式螺杆泵是一种基于螺杆旋转运动实现气体或液体输送的容积式泵，其核心技术在于无油润滑的螺杆转子设计，适用于高洁净度、恶劣工况及复杂介质的应用场景。
1. 工作原理
吸气阶段：一对精密加工的螺旋形转子（阳转子逆时针、阴转子顺时针）在泵壳内同步高速反向旋转，形成连续的密封腔室，将气体或液体从吸入端导入。
压缩阶段：随着转子旋转，密封腔室容积逐渐缩小，介质被压缩并向排气端移动。
排气阶段：压缩后的介质通过排气口排出，完成一个工作循环。
2. 核心组件
螺杆转子：采用三维曲面数学模型设计，经五轴联动数控机床加工，精度达微米级，表面可涂覆防腐涂层（如碳化钨）以适应腐蚀性介质。
轴承与齿轮：高精度斜齿轮确保转子间间隙稳定，G1 级动平衡技术降低振动和噪音。
密封系统：迷宫式密封 + 充气密封 + 干式密封组合，完全隔断润滑油与介质接触，避免污染。
1. 性能特点
无油洁净：工作腔无需润滑油，可获得清洁真空环境，满足半导体、医药等对污染敏感的行业需求。
高真空度：单级泵极限真空可达 1Pa，多级泵可实现更高真空度，适用于薄膜沉积、冻干等工艺。
耐恶劣工况：可抽取含颗粒物、水蒸气、腐蚀性气体的介质，排气温度低至 60℃以下。
高效节能：相比传统真空泵节能 30% 以上，变频技术可根据负载自动调节功率。
低噪音运行：转子无摩擦设计，噪音低于 76dB (A)，适合实验室及对噪音敏感的环境。
2. 典型技术参数
型号/极限真空/抽速范围/功率/温度范围/适用介质
1. 主要应用场景
半导体与电子：晶圆制造、等离子体刻蚀（RIE）、化学气相沉积（CVD）等工艺中的真空抽取。
化工与制药：真空蒸馏、溶剂回收、药物干燥、消毒气体处理。
食品与包装：香料浓缩、真空包装、油脂脱臭。
新能源：太阳能电池板生产、锂电池注液。
科研与医疗：质谱分析、冷冻干燥、无菌环境维持。
2. 典型案例
半导体行业：台积电采用系列泵用于 12 英寸晶圆刻蚀，真空度稳定在 0.01mbar 以下，提升良率 15%。
化工行业：巴斯夫使用系列泵处理含氯氟烃气体，耐腐蚀涂层寿命达 5 年以上。
制药行业：辉瑞通过系列泵实现药物中间体回收，溶剂回收率提升至 98%。
1. 全球市场规模
2023 年全球干式螺杆泵市场规模达 1023 亿元，预计 2029 年增至 1303 亿元，年复合增长率 4.12%。
中国市场占比约 25%，半导体、新能源领域需求增速超 10%。
1. 选型关键因素
介质特性：包括成分（腐蚀性、颗粒度）、温度、粘度等，例如含颗粒介质需选择大间隙转子。
工艺参数：真空度、流量、压力要求，例如半导体工艺需极限真空 < 0.01mbar。
安装条件：空间限制、环境温度、防爆要求等，例如防爆区域需选择 ATEX 认证型号。
2. 维护建议
日常维护：定期清洁进气过滤器，检查轴承温度（
干式螺杆泵是一种基于螺杆旋转运动实现气体或液体输送的容积式泵，其核心技术在于无油润滑的螺杆转子设计，适用于高洁净度、恶劣工况及复杂介质的应用场景。
1. 工作原理
吸气阶段：一对精密加工的螺旋形转子（阳转子逆时针、阴转子顺时针）在泵壳内同步高速反向旋转，形成连续的密封腔室，将气体或液体从吸入端导入。
压缩阶段：随着转子旋转，密封腔室容积逐渐缩小，介质被压缩并向排气端移动。
排气阶段：压缩后的介质通过排气口排出，完成一个工作循环。
2. 核心组件
螺杆转子：采用三维曲面数学模型设计，经五轴联动数控机床加工，精度达微米级，表面可涂覆防腐涂层（如碳化钨）以适应腐蚀性介质。
轴承与齿轮：高精度斜齿轮确保转子间间隙稳定，G1 级动平衡技术降低振动和噪音。
密封系统：迷宫式密封 + 充气密封 + 干式密封组合，完全隔断润滑油与介质接触，避免污染。
1. 性能特点
无油洁净：工作腔无需润滑油，可获得清洁真空环境，满足半导体、医药等对污染敏感的行业需求。
高真空度：单级泵极限真空可达 1Pa，多级泵可实现更高真空度，适用于薄膜沉积、冻干等工艺。
耐恶劣工况：可抽取含颗粒物、水蒸气、腐蚀性气体的介质，排气温度低至 60℃以下。
高效节能：相比传统真空泵节能 30% 以上，变频技术可根据负载自动调节功率。
低噪音运行：转子无摩擦设计，噪音低于 76dB (A)，适合实验室及对噪音敏感的环境。
2. 典型技术参数
型号/极限真空/抽速范围/功率/温度范围/适用介质
1. 主要应用场景
半导体与电子：晶圆制造、等离子体刻蚀（RIE）、化学气相沉积（CVD）等工艺中的真空抽取。
化工与制药：真空蒸馏、溶剂回收、药物干燥、消毒气体处理。
食品与包装：香料浓缩、真空包装、油脂脱臭。
新能源：太阳能电池板生产、锂电池注液。
科研与医疗：质谱分析、冷冻干燥、无菌环境维持。
2. 典型案例
半导体行业：台积电采用系列泵用于 12 英寸晶圆刻蚀，真空度稳定在 0.01mbar 以下，提升良率 15%。
化工行业：巴斯夫使用系列泵处理含氯氟烃气体，耐腐蚀涂层寿命达 5 年以上。
制药行业：辉瑞通过系列泵实现药物中间体回收，溶剂回收率提升至 98%。
1. 全球市场规模
2023 年全球干式螺杆泵市场规模达 1023 亿元，预计 2029 年增至 1303 亿元，年复合增长率 4.12%。
中国市场占比约 25%，半导体、新能源领域需求增速超 10%。
1. 选型关键因素
介质特性：包括成分（腐蚀性、颗粒度）、温度、粘度等，例如含颗粒介质需选择大间隙转子。
工艺参数：真空度、流量、压力要求，例如半导体工艺需极限真空 < 0.01mbar。
安装条件：空间限制、环境温度、防爆要求等，例如防爆区域需选择 ATEX 认证型号。
2. 维护建议
日常维护：定期清洁进气过滤器，检查轴承温度（