半导体专用高低温机：晶圆老化测试动态控温系统
- 报价
- ￥66666.00元每台
- 联系手机
- 18181998470
- 控制系统
- PLC（内置自研PID控制算法）
- 通讯协议
- RS485/TCP/Can总线
- 控温精度
- ±0.1℃
针对半导体测试环境设计，核心采用双制冷回路+陶瓷加热技术：复叠式压缩机（R404A+R23）实现-80℃低温，加热端用陶瓷发热体避免电磁干扰，控温精度±0.1℃。PT1000传感器灵敏度较PT100提升10倍，每0.1秒反馈数据至PLC，动态PID算法实时修正输出。
洁净循环系统保障无污染：导热介质在密闭管路中循环，膨胀槽与空气完全隔离，避免微粒进入真空腔。风冷设计通过高效翅片式冷凝器散热，节省纯水系统占地。例如晶圆测试需在3分钟内完成“室温→-55℃→125℃”跳变，设备通过预冷蓄能模块提前储备冷量，结合管道加热器瞬时升温，温度过冲＜0.1℃。光刻机应用中，系统可对接多路温度传感器，独立控制镜头组不同区域的温差＜0.3℃
温度精度：±0.1℃（恒温阶段）
温度切换：15秒内响应指令
制冷方式：风冷式（无需外接冷却水）
洁净等级：Class 100（无油雾设计）
机械设备，高低温一体机，模温机，冷水机，TCU温控系统，制冷加热设备
迈浦特机械，一家在温控设备领域深耕细作、锐意进取的企业，以其专业技术、卓越品质和全方位服务，成为工业温控技术的高端供应商与行业翘楚。公司一直致力于TCU温控系统，新能源温控测试系统、高低温一体机，模具温度控制机，冷水机，冷热一体机等温度控制机的研发、生产、销售、服务和技术咨询，提供全方位工业温度控制技术及解决方案的高端供应商，迈浦特信助于多年成功经验，以专业技术，在压铸，食品，化工，医疗，印刷，包装，复合材料，电池包、测试机，橡胶，压延...