PTO手机屏分子泵_帕纳光电_光储媒体行业专用分

在涡轮分子泵与前级泵之间装上一个真空阀，可以防止反向充气，当停电时立刻关上此阀。理想的情况是，它即能对前级泵入口充气又不致于使泵油返流浸入安全阀。另外，只有当它的压力基本均衡时才能打开安全阀，否则就有可能出现压力冲击前级管道的问题，例如，在断电瞬间前级泵压力将为大气压力，然而前级管道仍可能处于真空状态下。若阀门的两侧压力差很大，一旦通电阀门会立刻打开，含污染油的大气压下的气体将由前级泵冲向前级管道，从而会污染系统。所以安全阀需要一定的延迟开启的时间，以便让前级泵将阀门后的管道内抽成真空，阀前后的压差均衡时才可打开安全阀，总之采取办法来控制阀门的两侧的压力差，不使气流返冲。

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分子泵的清洗：

 一般来讲，如果说前级泵没有问题，而真空在规定的时间内没有达到规定的真空值或者有漏气（排除其它的漏气）、或着解吸附作用降低，说明真空泵有点脏了，需要进行清洗，这时不用进行拆卸就可以直接进行清洗，如果太脏的话，就必须进行拆卸清理了。直接清洗的方法如下：1．关掉分子泵，进行排气。

2．从机器上拆下分子泵，注意不要碰到接口的边缘部分。 3．拆掉冷却器、加热器（如果有的话）等 4．拆掉润滑的油包

5．将分子泵的高真空接口朝下垂直地放入一个适合的容器中。