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分子泵维修：操作规程 检查水路各阀门是否能打开，水流是否通畅。做好开机前的准备工作后，就可以按下总电源控制面板上的“机械泵开”按钮启动机械泵，这时“机械泵开”按钮显示灯亮。开真空计，等待真空计低真空部分显示＜10pa时，打开手动旁抽阀，由旁抽管路对系统预抽真空。待低真空显示＜10pa时，关闭手动旁抽阀。开手动前级阀。真空显示＜10pa时，打开分子泵电源，按下分子泵控制电源面板上的“启动”按钮，启动分子泵。待分子泵达到正常转速后3～5分钟，这时应该已经达到真空计电离规允许启动的真空度，按下真空计控制电源电离部分的“开电离”按钮，观察真空计高真空数值。

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若物体（螺钉、玻璃碎片、灯丝或硅片）落入正在运转的涡轮分子泵中，涡轮会遭到损坏，往往需返回制造厂进行维修。一旦出事故损坏就是严重的，不会有几件回用的。重修、更换零件是很贵的。为了工作安全起见，在泵入口处装上细孔眼的过滤网，以保护泵的正常运转。这种措施对泵的有效抽速损失较大。敷在叶片上厚的沉积物，会造成对叶片的磨损和通道堵塞，也会影响转子的不平衡。如果一些粒子进入轴承，造成磨损，能降低泵的工作寿命。因此在某些应用中，安装保护措施是必要的。