二手leybold分子泵_帕纳光电分子泵供应维修

涡轮分子泵的基本结构也是这样一种“陷阱”，造成气体分子从两边通过它的传输几率不同，这样气体分子便会堆积在传输几率小的一方，形成压力差。任何一种能使气体从低压向高压流动的手段都可以形成一种抽气作用，涡轮分子泵就是依靠结构两边传输几率的差异来产生抽气能力的。

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多数涡轮分子泵对于输送轻气体（如氢、氦）的能力很强。因而它非常适于超高真空下的工艺操作。对于那些富氢的工艺过程，氦质谱检漏仪等场合均可得到应用。有专门设计用于抽除腐蚀性气体的涡轮分子泵，适用于刻蚀、反应离子刻蚀，离子束加工，低压化学气相沉积，外延及离子注入等工艺操作。在这些工艺过程中，抽除的气体会对低温泵、离子泵、扩散泵油等有腐蚀作用。甚至也会破坏标准的未加保护的涡轮分子泵。由于涡轮分子泵属于传输型泵，被抽气体可穿膛而过，不在泵内积存。因而它适于气体负荷高的工艺过程。如溅射、刻蚀等。