ES660 静电放电和闩锁测试系统

产品特点：

兼容多种测试方法和标准

高度灵活的偏置和引脚数配置能力

自动化测试效率

先进的控制和监控

泄漏和直流扫描

数据分析

多放电头，软件自动切换

 

产品应用：

半导体器件 ESD 测试

HBM 模块符合 ANSI/ESDA/JEDEC JS-001、MIL-STD-883E、AEC Q100-002

MM模块符合ANSI/ESDA SP5.2

闩锁测试符合JEDEC JESD78

瞬态闩锁符合 ANSI/ESD SP5.4.1

ES660基础单元参数ES660单位备注触摸屏5inch
尺寸480 X 497.5 X 265mm
重量28kg完整安装ESD 和 LU 波形可选无源电压和电流探头
支持的示波器Keysight、Tektronix、LeCroy、Rigol的主流型号
完整安装支持的 SMUKeysight、Tektronix、LeCroy、Rigol的主流型号
可定制支持的电源Keysight、Tektronix、LeCroy、Rigol的主流型号
可定制

HBM 人体模型选项（ANSI/ESDA/JEDEC JS-001）

参数ES660-P1-HBM8ES660-P1-HBM10单位备注输出电压±10～8000±10～10000V
放电RC值

C: 100 pF ± 10%,

 R: 1.5kΩ ± 1%

短路负载峰值电流Ips0.67 ± 10 % 每 kVA
短路负载上升时间trs2 < trs < 10

ns

短路负载衰减时间tds130 < tds < 170ns
短路振铃trs< Ips 的15%
500Ω负载峰值电流IprIpr/Ips ≥ 63%
500Ω负载上升时间trr5 < trr < 25ns
Zui快脉冲速度10个/秒
同时脉冲数目≥8
512个引脚以上

MM机型选项（ANSI/ESD SP5.2）

参数ES660-P1-MM2ES660-P1-MM4单位备注输出电压±10 ~ 2000±10 ~ 4000V
放电RC值

C: 200 pF,

 R: 0 &#x2126;

短路负载峰值电流Ip11.75±10% 每 100V
短路负载Ip2Ip1的67% ~ 90%
短路负载脉冲周期tpm 66 < tpm < 90
500Ω负载峰值电流Ipr0.85 – 1.2
@400 V条件符合标准500Ω负载I1000.23 – 0.4
@400 V条件符合标准Zui快脉冲速度10个/秒
同时脉冲数目≥8
512引脚以上

DC & 闩锁选项（JEDEC JESD78F.01）参数ES660-P1-LU备注预处理向量可≥ 20 MHz，256K 深度外部设置V/I 4线开尔文测量是
DUT V/I 总线电源3+1、5+1、7+1支持DC源外部扩展LU 波形捕获是
矩阵Zui大DC电压200V
SSR 矩阵Zui大DC电压 (V)100V
引脚Zui大DC电流 2A
DC通道Zui大电流15A
默认闩锁源Zui大电压≥150VZui大限流1.2 A默认闩锁源Zui大电流≥ 10AZui高电压6 V

TLU 瞬态闩锁选项（ANSI/ESD SP5.4.1）

计划闩锁瞬态脉冲源的硬件支持：

ES622 (TLP/ VF–TLP ), EOS -500 (EOS), LVS-500 (LVS), MM