伯东日本进口离子蚀刻机
- 供应商
- 伯东企业(上海)有限公司
- 认证
- 品牌
- 日本NS
- 联系电话
- 021-50463511
- 手机号
- 13918837267
- 联系人
- 叶小姐
- 所在地
- ec@hakuto-vacuum.cn
- 更新时间
- 2019-05-14 10:30
离子蚀刻机 20-m/ns-12 https://www.hakuto-vacuum.cn/product-detail.php?id=287
上海伯东 ns 进口离子蚀刻机20-m/ns-12，适合大规模量产使用的离子刻蚀机
离子蚀刻机 20-m/ns-12 主要技术参数：
ns离子蚀刻机主要优点：
干式制程的微细加工装置，使得在薄膜磁头，半导体元件， mr sensor 等领域的开发研究及量产得以广泛应用。物理蚀刻的特性，无论使用什么材料都可以用来加工，所以各种领域都可以被广泛应用。配置使用美国考夫曼公司制造的原装离子源。射频角度可以任意调整，蚀刻可以根据需要做垂直，斜面等等加工形状。基板直接加装在直接冷却装置上，所以可以在低温环境下蚀刻。配置公转自转传输机构，使得被蚀刻物可以得到比较均匀平滑的表面。机台设计使用自动化的操作流程，所以可以有非常友好的使用生产过程。上海伯东主营产品：德国普发pfeiffer涡轮分子泵，干式真空泵，罗茨真空泵，旋片真空泵；应用于各种真空环境下的真空计，氦质谱检漏仪，质谱分析仪以及美国考夫曼公司kri 离子源 离子枪 霍尔源，美国hva 真空阀门，polycold 冷冻机，离子刻蚀机等。
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