晶圆研磨PEEK固定环，peek研磨环加工

晶圆研磨peek固定环，cmp环加工，peek研磨环加工
 作为半导体制造工艺一个重要阶段，化学机械研磨（cmp）需要具备严密的工艺控制，严格的规定公差和高质量的表面形状和平面，产品和电子设备的小型化进一步对工艺性能提出了更高的要求，所有的这些因素变得越来越苛刻，因而对固定环元件（cmp工艺的关键部件）性能的要求也越来越高。
 cmp固定环是用来在研磨过程中对晶圆进行固定晶圆的，它能够产生较低的抛光率、光滑的表面，严格的平面公差，较高的材料稳定性，较低的振动属性，但是前提条件是cmp固定环的材料选择和设计要合理，尤其是cmp固定环的底面，如果十分平坦，则晶圆的产出也会相应增加。
 对于要求颇高的cmp固定环这一应用，peek已被认为目前市场上合适的材料之一，它拥有一系列独特的性能，如优异的尺寸稳定性，机械性能，耐化学腐蚀性，耐磨性。peek的耐磨性和使用寿命比pps的高出一倍。
 1、较高的尺寸稳定性
 2、易于加工
 3、良好的机械性能
 4、良好的耐化学腐蚀性
 5、良好的耐磨性
      陈威 tel：  
       
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