四氟化碳-四氟甲烷-佛山科的公司

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专业生产：四氟化碳四氟甲烷

四氟化碳（cf4）

主要用途:
在常温下,四氟化碳是无色、无臭、不燃的可压缩性气体，挥发性较高，是zui稳定的有机化合物之一，在900℃时，不与铜、镍、钨、钼反应，仅在碳弧温度下缓慢分解，微溶于水，在25℃及0.1mpa下其溶解度为0.0015%(重量比),然而与可燃性气体燃烧时,会分解产生有毒氟化物。
四氟化碳是目前微电子工业中用量zui大的等离子蚀刻气体,其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合气,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻，在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

四氟化碳参数说明https://www.kdgc.cn/getknowledge/zh-cn/p288.aspx

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