PVD真空镀膜设备-高精模具镀膜设备
- 供应商
- 安徽纯源镀膜科技有限公司
- 认证
- 镀膜温度
- ＜80℃
- SP3含量
- 高
- 膜层性能
- 性能优越
- 联系电话
- 0551-63652293
- 手机号
- 18356509334
- 联系人
- 舒平
- 所在地
- 合肥市高新区大别山路1599号
- 更新时间
- 2024-11-13 09:00
pvd真空镀膜设备-高精模具镀膜设备
设备优势：
· pi系列融合了纯离子镀膜技术(pic)、离子束清洗技术(ionbeam);
· 本系列标配双腔室结构，更好的满足高真空镀膜需求;
· 配套有更高效的电磁过滤系统，极好的获得纳米级超洁净涂层 ；
· 专注于超洁净纳米tac涂层制备，广泛应用于玻璃模压成型模具表面改性；
· 可镀10nm-1μm的超级类金刚石ta-c膜层。
设备基本性能参数 | |||
装卸载腔 工艺腔 | 420*500*525(mm) 720*580*550(mm) | 镀膜范围 | Φ250mm |
工艺真空 | <5x10-4pa | 抽气时间 | 大气到6x10-3<15分钟 |
应用技术 | pic+ibe | 源类型 | 纯离子源、阳极层离子源、icp源 |
涂层类型 | ta-c、dlc、金属氮化物、碳化物 | 生产周期 | 1-3小时/炉（根据产品） |
工艺气体 | ar、n2、o2、c2h2等 | 外围尺寸 | l3410*w4328*h2310（mm） |
控制方式 | 上位机＋plc，全自动控制 | 配套条件 | 循环水压力：0.2-0.5mpa |
冷却纯水量：不低于8m3/h | |||
压缩空气：0.5-0.75mpa | |||
