德国NanoFocus太阳能电池表面检测系统

     μsurf系列产品采用多孔共聚焦技术，结合ccd的影像摄取，以有许多孔洞的旋转盘取代侦测器的孔洞，再将物镜垂直移动，以类似断层摄影方式，可在短时间内(约几秒)量测物体的三维数据。其测量方式是非接触式，不会破坏样品的表面，不需要在真空环境下测量，也可以用显微镜测量的功能来观测样本，其在严酷的工作环境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在测量渐变较大的高度时，跟其他方法相比，可以更量测物体高度，建立3d立体影像，优势相当明显。 
      nanofocus μsurfsolar太阳能电池3d显微镜，可以对太阳能电池片进行自动化测量，广泛适用于单晶、多晶和薄膜太阳能电池片，一分钟内可以自动测量12个区域，是质量检验和生产控制中的有效的光学三维表面测量和分析工具。可以进行太阳能电池片栅线的3d形貌表征、高宽比测量，制绒后3d形貌表征（单晶金字塔大小、数量、角度、比表面积，多晶腐蚀坑形貌、密度），粗糙度分析，以及减反射层腐蚀表面的测量，薄膜小孔的检测和自动分析。 
    
      作为太阳能行业必要设备，μsurfsolar太阳能电池3d显微镜从硬件到软件均是针对太阳能行业定制开发出来的，其测量样品的平台带有真空吸盘，可以承受210mmx210mm的样品，能确保太阳能电池片移动时不破坏。适用μsurfsolar有利于控制生产工艺,提高效率,是质量的可靠保证。
太阳能行业解决方案
      μsurf solar从硬件到软件是专为满足太阳能行业实验室和生产过程检测需求的一个解决方案，测试范围为米级的超长行程使得检测整个薄膜太阳能模块得以实现，结合真空吸盘夹具和专门的算法，您可以更安全更有效地测量与分析反射表面以达到业界的测量结果。
技术参数 
led光源：λ= 505 nm, mtbf: 50,000h 
测量时间：2~10秒 
测量原理：非接触、共聚焦 
x/y方向：平台移动范围200mmx200mm，马达驱动，大移动速度40 mm/s，x/y方向分辨率：0.3μm 
z方向测量范围：500μm，z方向分辨率：1nm 
物镜：10x、20x、50x、100x(可选) 
离轴摄像头(10x)，大视野8 x 6 mm2(选配) 
计算机：高性能计算机控制系统，功能强大且附带全面解决方案的自动化软件 
工作电源：100-240v, 50-60hz，input: 550 va 
材质：钢铁、橡胶、大理石 
洁净室等级: capability class 6 (according to din en iso14644)