片状氧化铝微粉平替FUJIMI PWA15抛光粉用于砷化镓晶圆CMP处理

片状氧化铝微粉平替fujimipwa15抛光粉用于砷化镓晶圆cmp处理

片状氧化铝又称平板状氧化铝抛光粉，它的用途是晶圆的抛光研磨表面处理。平板状氧化铝其实是一种通过特殊方法进行长晶的煅烧氧化铝。其煅烧温度问1200度，制成的氧化铝呈片状堆积形态。通过破碎和水洗工艺，将片状氧化铝粉进行分层，制成氧化铝纯度和清洁度更高，颗粒集中度窄、易分散的片状氧化铝微粉。不同的煅烧工艺对片状氧化铝的质量影响很大，质量好的平板状氧化铝晶体结构平整，磨削面无凹凸，颗粒致密度高，硬度高，易分散不会团聚，因此不会对硅片和晶圆造成损伤。片状氧化铝的晶体厚度为2-3um，颗粒直径3-50um。

片状氧化铝微粉/平板状氧化铝抛光粉的特点：

1.    海旭磨料生产的片状氧化铝对标进口产品，可以达到进口片状氧化铝粉的研磨效果。

2.    晶型平整无棱角，研磨时磨粒于工件之间产生平面滑动效果，不易产生划痕。

3.    硬度高，磨削力强。片状氧化铝具有类似于刚玉的α-al2o3晶相，适用与大多数材料的研磨和抛光。

4.    磁性物含量低，清洁度高，粒径一致性高。

5.    熔点高，机械强度高，磨削效率高。

6.    颗粒大小可控，3-50微米均可获得。

7.    颗粒的平整性使片状氧化铝粉体易于分散，适合制成研磨剂或研磨液。

8.    耐腐蚀、化学稳定性强、抗氧化性能优越，不会于研磨液中的液体介质发生反应。

9.    比表面积大，表面活性和附着力由于电熔刚玉。

10. 片状氧化铝易于分散，粉体不易团聚在晶圆表面造成堆积，影响抛光平整度。

化学成分：

物理性能：

生产规格：

用途：

1.   半导体硅晶片、石英晶体、砷化镓晶体研磨液

2.   光学玻璃、光电陶瓷研磨

3.   导热涂料填充

4.   精密油石原材料

5.   抛光砂带砂纸原料

6.   软质金属研磨抛光

7.   耐热耐磨涂层