半导体工业：高纯氩在半导体工业中用作生产高纯硅和锗晶体的保护气体；可用作系统清洗、屏蔽和增压用惰性气体；在化学气相淀积、溅射和退火等工艺中有所应用。
金属冶炼：高纯氩在金属冶炼方面，氧、氩吹炼是生产钢的重要措施，每炼1t钢的氩气消耗量为1~3m³。此外，对钛、锆、锗等特殊金属的冶炼，以及电子工业中也需要用氩作保护气。
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