尼康干涉物镜5X\/10X\/20X\/50X\/100X货期长

尼康干涉物镜5x\/10x\/20x\/50x\/100x货期长

尼康干涉物镜5x\/10x\/20x\/50x\/100x货期长

尼康干涉物镜

5x/10x/20x/50x/100x

干涉测量镜头可用在非接触光学压型测量设备上，通过此镜头可得到表面位图和表面测量参数等。也可用来检测表面粗糙度，测量精度非常高，在一个波长之内。一束光通过分光镜，可将光直接射向样品表面和内置反光镜。从样品表面反射的光线通过再结合，就产生了干涉图案。与mirau镜头比起来，michelson镜头拥有更长的工作距离，更宽的视场和更大的焦深。mir

详情介绍

尼康干涉物镜cf plan epi 2.5xti/5x

尼康干涉物镜cf plan epi 2.5xti/5x

干涉物镜

2.5x 5x 10x 20x 50x100x

工作距离（mm） 10.3 9.3 7.4 4.7 3.42.0

na（数值孔径） 0.055 0.15 0.30 0.450.55 0.7

fov（mm）1 5093×3818 2546×19091270×950 637×477 254×190 127×95

空间采样（mm）2 6.64 3.32 1.62 0.830.33 0.17

光学分辨率 蓝光（l&s）（mm）3 2.550.93 0.46 0.31 0.25 0.20

光学分辨率 白光（l&s）（mm）3 3.041.11 0.56 0.37 0.30 0.24

大坡度4 3.05o 8.6o 14o 21o 25o42o

垂直分辨率（nm）psi7

垂直分辨率（nm）epsi7 <0.1nm（pzt0.01nm）