德国PVA-Tepla等离子体去胶机
- 供应商
- 北京哲勤科技有限公司
- 认证
- 品牌
- pva-tepla
- 型号
- Ion Wave 10
- 联系电话
- 86-021-61061958
- 手机号
- 86-021-13381799893
- 联系人
- 先生
- 所在地
- 北京市经济开发区景园街10号大琛科技园
- 更新时间
- 2016-09-13 15:54
进口pva tepla等离子体去胶机（整机进口）
规格参数：
2.45ghz风冷微波电源（0～600w可调）/13.56mhz风冷射频电源（0～600/0～300w可调）
石英/铝/陶瓷腔体，
zui多6路气体，mfc控制
兼容8英寸及以下晶圆
pc工控机控制，运行数据实时存储
操作分级权限管理
图形化触控屏操作，运行状态实时显示
可选配法拉第桶
可选配水冷温控装置
可选配压力控制系统
外形尺寸：775×749×781 mm / 775×723×781 mm
应用领域：
去除光刻胶 photo-resist stripping
去除残胶 wafer descum
su-8灰化 su-8 ashing
氮化硅、聚酰亚胺等的刻蚀 etching of silicon nitride, pi, etc.
刻蚀钝化层 etching of passivation layers
逆向分析/失效分析中的器件开封 device decapsulation for failureanalysis
微量分析中低温材料灰化 low temperature ashing of materials forchemical trace analysis
认证：
ce 认证
en 61010
en 61326
semi e95
iso 9001
cispr 55011