净化设备FFU风机特点

 ffu具有的特点：

    第一，灵活性。因为ffu是自带动力的，它不受区域的限制。在一个偌大的洁净厂房里可根据需要，分区控制。而且，随着半导体生产工艺的变化，厂房布局必然要作相应的调整，ffu的灵活性使得这样的调整变得轻松，而且不会带来二次投资。

    第二，可再利用性。从理论上讲，一时不用的ffu设备，可以拆下来，密封好，妥善保管，留待下次使用。

    第三，负压通风。这是ffu的独特特点。由于它本身能够提供静压，使得送风静压箱相对于洁净厂房负压。这样，静压箱内的颗粒就不会受到压力的作用泄漏到洁净区内，使得密封变得很简单而且安全。

    第四，缩短建设周期。使用ffu省掉了风箱的制作和安装，因为风管在洁净工程中，占掉很大的建设周期，任何一个投资者都希望投资能尽快带来收益，选用ffu成为了一种可能。

    第五，减少运行成本。虽然在选用ffu时，初期投资要比使用风管通风高，但在它后期运行中，突出的表现出节能、免维护等特点。用大循环减少40%的运行成本。

ffu组合的关键性能参数：

    模数尺寸：安装吊顶龙骨中心线的间距，ffu常用的标准模数尺寸为1200*600（4'* 2'）、1200*900（4'* 3'）、1200*1200（4'* 4'）。

    实际尺寸：ffu过滤器的实际尺寸=模块尺寸-（龙骨断面宽度-25mm），风机模块的实际尺寸比过滤器稍大4mm。比如说常用的圆顶龙骨端面宽度为55mm，模数尺寸为1200，900，600所对应的ffu过滤器实际尺寸1170，870，570，风机模块的实际尺寸为1174，874，574。

    机外余压：在某一设定风速下，风机模块的总静压下（tsp）扣除hepa/ulpa过滤器的阻力，即为机外余压（esp），单位是pa。esp是指ffu整机能克服洁净室循环风阻力的能力，无论是标注ffu机外余压或风机模块的总静压tsp，都必需指名送风风速或风量，否则没有意义。

    输入能耗：ffu正常运转时输入电压或输入电流的乘积，单位是w。显然，ffu在不同的运行工况点，即在不同的运行风量和总静压时，输入能耗不同。因此，如果不指名运行工况点，输入能耗值没有意义。

    单位噪音：根据标准ies-rp-cc002，ffu正常运转时在距离出风面中心正下方1.2m处的噪音值，单位是db(a)。ffu在不同的运行工况点，即在不同的运行风量和总静压时，噪音不同。因此，如果不指明运行工况点，噪音值没有意义。

    微振：根据标准ies-rp-cc002，ffu在大运转工况点时的振动幅度和振动速率，单位分别是mm和mm/s。

    送风均匀度：根据标准ies-rp-cc002，ffu正常运转时，在距离出风面下方150mm(6'')的水平面上测量逐点的风速，得出平均风速值。平均风速与大风速和小风速的偏差比即为送风均匀度，单位为+/-%。标准ies-rp-cc002中要求ffu的任一点的送风风速与其平均风速的偏差均应在+/-20%以内。

    过滤器效率等级：依据欧洲标准en1822，过滤器等级从h10-h14，u15-u17，或依据美国标准mil-282(hepa)对于0.3um的效率值；依据美国标准ies-rp-cc007.1，对于0.12um的效率值。