Unimill 离子减薄仪--用于 TEM/XTEM 样品制备的全自动离子束减薄系统
- 供应商
- 复纳科学仪器(上海)有限公司
- 认证
- 联系电话
- 4008578882
- 手机号
- 15601607322
- 市场专员
- 杨西子
- 所在地
- 上海市闵行区虹桥镇申滨路88号上海虹桥丽宝广场T5,705室
- 更新时间
- 2024-03-11 11:55
technoorg lindaunimill 离子减薄仪专为快速地制备具备高减薄率的、高质量的 tem/xtem 样品而设计。 unimill既可以使用全球dujia的超高能离子枪进行快速研磨,也可以使用专用的低能离子枪进行终抛光和精修处理。
·可直接使用同一台仪器进行快速减薄和抛光/精细处理
·支持全自动的离子枪参数设置和手动调节离子束研磨参数
·具备广的离子枪能量范围:低能离子枪与超高能离子枪结合,能量范围可达 100 ev ~ 16 kev
·具备极高的切削率
·可选择配备 ln2 液氮制冷
unimill包括两支独立控制的离子枪:一支高能或超高能离子枪和一支低能离子枪。
高能和超高能离子枪
unimill的高能和超高能离子枪提供了高的研磨率。高达 16 kev 的离子枪专为要求极低研磨速率的 tem 样品制备而设计。
低能离子枪
离子枪的特殊结构可在整个制备过程中形成高束流密度。能量极低的离子束保证了表面损伤和离子束诱导非晶化效应的小化。
离子枪控制
所有离子枪参数,如加速电压和离子束电流在内均由智能反馈回路控制,但始终可以在样品制备过程中进行手动调节。离子枪参数的初始值支持自动设置或手动调节,同时可在电脑上连续监控和显示。
性能参数
离子枪
超高能离子枪(可选):
• 离子束能量:高达16kev,连续可调
• 离子束电流:高达500 μa
• 离子束直径:1.6 -1.8 mm (fwhm)
高能离子枪(标配):
• 离子束能量:高达10kev,连续可调
• 离子束电流:高达300 μa
• 离子束直径:0.9 -1.3 mm (fwhm)
低能离子枪:
• 离子束能量:100ev - 2 kev,连续可调
• 离子束电流:7 -80 μa
• 离子束直径:1.5 -2.2 mm (fwhm)
样品台
• 切削角度:0°-40°,每 0.1° 连续可调
•电脑控制的平面内样品旋转和移动:
• 360° 旋转
• 从±10°到±120° 移动,每 10° 连续可调
• 可兼容的 tem样品厚度范围 (30 - 200 μm)
成像系统
•用于全视觉控制和切削监控/终止的 cmos 相机图像
• 高分辨率彩色 cmos相机
• 50 - 400倍放大范围的手动变焦视频镜头
电脑控制
•内置工业级计算机
•简单便捷的图形界面和图像分析模块
•支持用户手动调节离子枪参数,包括气流调节
•用于自动设置机械和切削参数的预编程方案(可以
手动调整)
• 自动样品加载
•自动终止:图像分析模块支持的切削过程的光学终止
( 通过检测薄区穿孔或监测表面形貌)
供气系统
• 99.999%纯氩气,juedui压力为 1.3 - 1.7 bar
•带有电子出口压力监测功能的惰性气体专用压力调节器
•工作气体流量高精准控制
真空系统
• pfeiffer真空系统配备无油隔膜和涡轮分子泵,配备紧凑
的全范围 pirani/penning真空计
电源要求
• 100 - 120v/10 a/ 50-60 hz 或 220 - 240 v/5 a/ 50-60 hz
成像案例
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